판매용 중고 RORZE 4PRSC140-001-001 #9314645

ID: 9314645
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2011
Curing system, 8" Cooling stage (3) Load ports Robot (2) Ovens 2011 vintage.
RORZE 4PRSC140-001-001은 특허 광학 반사기 디자인의 4 채널 프로젝션 시스템으로 구성된 노출 장비입니다. 이 장치에는 1,400 와트 Xe 램프 한 쌍, 10W FEL 램프 2 개, 광출력의 미세 튜닝을위한 풀 스펙트럼 쿼츠 프리즘 및 정밀한 컴퓨터 제어 교정 기계가 있습니다. RORZE 노출 도구는 기질의 균일 한 조명과 균일 한 광도를 제공하도록 설계되었습니다. 600mm x 800mm의 큰 노출 영역은 최대 효율성을 위해 예상 광의 높은 정확성을 보장합니다. Xe 램프와 FEL 램프의 조합은 정밀 조명을 위해 광범위한 광원을 제공합니다. Xe 램프는 자외선과 가시광선을 모두 제공하는 반면, FEL 램프는 필요한 노출을 위해 고강도 출력을 제공합니다. 프로젝터 (Projector) 자산은 통과 할 때 방출되는 빛의 강도를 줄이기 위해 설계된 석영 프리즘 (quartz prism) 을 사용하여 낭비 된 에너지의 양을 광분산 형태로 줄입니다. 정확한 컴퓨터 제어 교정 모델은 각 노출 주기에 대한 정확한 노출 시간과 강도를 보장합니다. 또한, 이 장비에는 노출 시스템을 사용하지 않을 때 전력 소비를 줄이는 절전 (power-saving) 자동 대기 (auto-standby) 기능이 장착되어 있습니다. 노출 장치 (Exposure Unit) 에는 작동 중 눈을 보호하기위한 안전 방패 (Safety Shield) 와 안전 방패가 열리면 Xe 램프를 중지하는 전자 제어 연동기 (Electronically-Controlled Interlock Machine) 를 포함하여 여러 가지 안전 및 보안 기능이 있습니다. 또한, 이 도구에는 방의 주변 온도 (Arbient Temperature) 가 권장 매개변수를 초과하면 램프를 종료하는 환경 모니터링 (Environmental Monitoring) 자산이 포함되어 있습니다. 노출 모델 (Exposure Model) 은 또한 제조, 안전 및 환경 관행에 대한 국제 표준 (International Standard) 을 충족시키기 위해 엄격한 안전 및 환경 테스트를 거쳤습니다. 전반적으로 4PRSC140-001-001 노출 장비는 제조, 프로토타입, 연구 응용프로그램을 위한 효율적이고 효과적인 솔루션입니다. Xe 및 FEL 램프, 컴퓨터 제어 교정 시스템, 안전 기능의 조합으로, 정밀 노출 작업에 적합합니다.
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