판매용 중고 QUINTEL Q4000-6 #9258038

제조사
QUINTEL
모델
Q4000-6
ID: 9258038
웨이퍼 크기: 4"
빈티지: 2006
Exposure machine, 4" 2006 vintage.
QUINTEL Q4000-6은 반도체 산업을 위해 설계된 최첨단 노출 장비입니다. 이 시스템에는 고급 리소그래피 (lithography) 애플리케이션에 이상적인 다양한 기능이 있습니다. 우선, 대용량 생산을 위해 Q4000-6이 구축되었습니다. 이 제품은 초당 8 개의 드라이브 속도로 시간당 12 개의 웨이퍼를 처리할 수 있습니다. 이 장치는 25 미크론 해상도의 미드레벨 어플리케이션도 간단합니다. QUINTEL Q4000-6 피어는 200mm x 200mm, 다이 사이즈는 6 인치, 필드 사이즈는 12 인치, 다이 사이즈는 35mm x 35mm입니다. 이 기계는 매우 작은 크기에서도 매우 높은 위치 정밀도를 제공하며, 일관된 결과를 얻기 위해 캐리오버 (Carryover) 오류가 0.3% 미만입니다. 노출 정확성 측면에서, 이 도구는 0.5 미크론 이내의 정렬 정확도를 유지하면서 2 미크론까지 선폭 최소화를 달성 할 수 있습니다. 또한 소형 기능 (small features) 과 별도의 리소그래피 프로세스 (lithography process) 를 노출시켜 사용자 정의 수준이 높은 생산 환경을 제공합니다. Q4000-6 은 효율적이고 사용이 간편한 소프트웨어로, 전체 디바이스 라이브러리를 저장, 편집하고, 노출 프로세스를 위한 정교한 계층화를 구현할 수 있습니다. 이 에셋은 또한 프로그램 라이브러리의 용량이 커서 더 복잡한 프로세스 (process) 와 더 높은 운영 출력을 가능하게 합니다. QUINTEL Q4000-6은 추가 품질 보증을 위해 일련의 내장 센서를 사용하여 반복 가능한 패턴 정확성을 보장합니다. 이러한 센서는 가장 미세한 패턴 이상조차 감지할 수 있으며, 생산 주기 내내 품질 보증을 유지하기 위한 실시간 피드백 (feedback) 을 제공합니다. 전체적으로, Q4000-6 은 강력하고 효율적인 노출 모델로서, 대용량 운영 환경에 탁월한 성능을 제공합니다. 즉, 빠른 처리 속도와 높은 정밀도를 자랑하며, 탁월한 수준의 유연성과 품질 관리 기능을 제공합니다.
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