판매용 중고 OAI 358 #293636414

제조사
OAI
모델
358
ID: 293636414
Exposure analyzer.
OAI 358은 리소그래피 및 기타 반도체 이미징 프로세스에 사용되는 노출 장비입니다. 작은 조각 및 기타 민감한 응용 프로그램에 사용하기 위해 특별히 맞춤형 소형, 2 층 노출 테이블 디자인입니다. 358은 다양한 금속 및 기판을 제공하여 대형 및 백라이트 (backlit) 섹션에 대한 첫 번째, 중단없이 노출됩니다. 최대 12 "x 12" 기판을위한 공간을 제공하며 추가 기능을위한 대규모 플랫폼을 갖추고 있습니다. OAI 358에는 전동식 스테퍼 구동 테이블이 장착 된 고품질 석판 노출 테이블이 포함되어 있습니다. 동력 테이블 (Motorized Table) 을 사용하면 빠르고 정확한 패턴 배치를 통해 석판 이미징 중에 정확하고 효율적으로 정렬할 수 있습니다. 또한, 스테퍼 구동 테이블 (stepper-driven table) 은 금속과 기질의 피폭을 테이블에 정확하게 제어합니다. 이것은 1 단계 노출 시스템을 통해 달성되며, 8 개의 금속 및 8 개의 기판 위치로 완성되어 노출 효율이 향상됩니다. 358은 또한 이동식, 조절 가능한 높이 난방 장치를 제공합니다. 가열 테이블 (heating table) 을 사용하면 테이블에서 금속 기판을 가열하고 균일하게 노출시켜 일관되고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 또한 OAI 358에는 2 개의 400 - 600nm in-situ 광도계가 포함되어 있어 모든 극한 UV 노출 수준을 모니터링 할 수 있습니다. 내부 광도계 (in-situ photometer) 의 측정은 생산에 필요한 매우 정확한 노출 판독 값을 제공하여 정확한 이미지 품질 및 프로세스 재생성을 보장합니다. 또한 358에는 최대 해상도를 제공하기 위해 0.001 - 0.008mm의 공기 간격이 포함되어 있으므로 사용자에게 최고 수준의 결과를 제공합니다. 마지막으로, OAI 358은 쉽고 프로그래밍 가능한 패턴 배치 제어를 위해 4 줄, 유연한 인터페이스로 구성된 OAI 컨트롤러를 제공합니다. 이를 통해 OAI 컨트롤러를 통한 프로그래밍 가능한 패턴 배치 제어, 반도체 이미징 프로세스의 자동화 관리 (automation management) 를 향상시킬 수 있습니다. 전체적으로 358은 생산을위한 신뢰할 수 있고, 효율적이며, 품질 기반의 석판 학적 노출 솔루션을 제공합니다. 반도체 이미징 프로세스는 많은 기능, 전동 테이블, 조절 가능한 높이 가열기 및 OAI 컨트롤러로 최고 품질의 결과를 얻을 수 있습니다.
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