판매용 중고 OAI 306 #9124212

OAI-OAI 306은 완전 자동화 된 컴퓨터 제어 노출 장비로, 금속 및 유전체 필름의 증착을 위해 특별히 설계되었습니다. 넓은 영역, 균일 한 필름 및 패턴 된 박막을 만드는 데 사용할 수 있습니다. 이 고급 증착 기술에는 가스/진공 혼합 밸브, RF 스퍼터링 음극, DC 스퍼터링 음극 및 기판 홀더가 장착되어 있습니다. "밸브 '는" 가스' 의 공급 을 정확 하게 조절 하는 데 사용 되며, 반응물 "가스 '를 방 에 도입 시키기 위하여 사용 되어 분자 의 정밀 한 원자 화법 이 가능 하다. 스퍼터링 음극은 기질의 표면을 뿌리는 강력한 이온 공급원으로, 증착이 가능하다. 온도는 내장 된 열전대 및 정확한 설정을 제공하는 온도 컨트롤러에 의해 조절됩니다. OAI-306은 단일 독립형 구성 또는 멀티 챔버 진공 클러스터 시스템 (multi-chamber vacuum cluster system) 으로 설치 및 작동 할 수 있습니다. 이중 강력한 플라즈마 소스 (plasma source) 또는 단일 소스 (single source) 와 호환되므로 프로세스 매개 변수 제어가 향상됩니다. RF 및 DC 전원 공급 장치는 각각 0.1 ~ 100 밀리암페어 및 350 ~ 3000 볼트에서 조절 할 수 있으므로 증착율 및 품질을 정확하게 제어 할 수 있습니다. OAI-OAI 306 (OAI-OAI 306) 은 필름 압력 및 온도를 정확하게 제어하여 산화 및 질화 (nitridation) 에 적합하며 내구성과 신뢰할 수있는 산화물 장벽을 만듭니다. 이 장치에는 프로세스 자동화 및 모니터링을 위해 제공되는 소프트웨어가 포함되어 있습니다. 소프트웨어는 전기 기계 구성 요소를 제어하고 GUI (Graphical User Interface) 의 도움으로 진공 기계 압력, 스퍼터링 속도, 가스 농도, 기판 온도, 히터 전류 등을 모니터링합니다. OAI-306은 다양한 응용 분야에서 잘 작동하여 고급 마이크로 일렉트로닉스, 하드 페이스 코팅, 부식 내성 코팅, 열 장벽 코팅, 장식 마감 등에 적합합니다. 이 도구는 비용 효율적이고 에너지 효율적이며 친환경적입니다.