판매용 중고 OAI 2000 EdgeBead #9266654

OAI 2000 Edge Bead는 반도체 제조 산업을위한 Quartz 기판 자동 제조를 위해 설계된 최첨단 노출 장비입니다. 2 축 스캐닝 기능과 정밀 포지셔닝을 통해 단일 기판 단위 0.030 인치 (in) 에서 다양한 크기와 두께의 기판을 효과적이고 정확하게 노출 할 수 있습니다. 총 두께가 1 인치 인 최대 여러 개의 기판 스택이 있습니다. 2000년에는 완전자동 진공 조작 시스템 (Fully Automated Vacuum Manipulation System) 을 통해 기판을 쉽게 조작 및 정렬할 수 있습니다. 이 장치는 표준 툴킷 구성으로 배포되며, 61 "x 81" 노출 베이스로 구성됩니다. 수직 via-faced 진공판; 빔 스캐너; 그리고 정밀 직립. 12 'x 12' 설치 공간 내에 장착 된 전체 기계는 표준 ISO Class 7 클린 룸 내에서 작동하도록 설계되었습니다. OAI 2000 Edge Bead는 VMEBus 기술을 사용하는 LXI 3.0 컨트롤러로 구동되는 제어 도구로 구동됩니다. 에너지 효율이 높은 이 자산을 통해 사용자는 노출 프로세스 (패턴화, 기판 정렬) 를 완벽하게 제어할 수 있습니다. 또한 이 컨트롤러에는 시스템 매개변수와 모델 구성을 빠르고 쉽게 탐색할 수 있는 사용자 친화적 그래픽 인터페이스 (GUI) 가 있습니다. 제품 품질 (Quality) 과 수명을 보장하기 위해 장비의 모든 구성요소가 엄격한 테스트를 거쳐 검증됩니다. 2000 Edge Bead는 고주파, 고해상도 빔 스캐너를 사용하여 2 미크론 정확도와 최대 작동 주파수 60 kHz의 반복 가능한 패턴을 생성합니다. 포인트 투 포인트 레이저 노출뿐만 아니라 선형 (linear) 용으로 제작 된이 시스템에는 8 렌즈 가변 조리개 광학 케이스와 헬륨 냉각 빔 스캐너가 장착되어 있습니다. 효율적인 처리량과 짧은 주기 시간 동안 OAI 2000 Edge Bead에는 정밀 컨베이어 장치가 장착되어 있습니다. 이 지능형 머신 (Intelligent Machine) 은 고속 처리 중에 연속적인 동작으로 기판을 이동할 수 있습니다. 또한 스택 로더 (stack loader) 와 언로더 (unloader) 를 사용하여 기판을 신속하게 제거하고 교체할 수 있으며, 기판 위치를 정확하게 지정할 수 있습니다. 전반적으로, 2000년형 Edge Bead는 생산 생산량 및 효율성을 향상시키기 위해 설계된 직관적이고 다재다능한 자산입니다. OAI 2000은 수많은 자동 프로세스, 처리량 증가, 전체 작업 제어 기능을 제공하여 오늘날의 까다로운 반도체 업계를 위해 Quartz 기판을 정확하게 생산할 수 있도록 합니다 (영문).