판매용 중고 NOVELLUS Vector Sola xT #9390438

노벨 러스 벡터 솔라 xT (NOVELLUS Vector Sola xT) 는 반도체 산업에 사용되는 석판 공정의 정확한 요구를 충족시키기 위해 설계된 고급 노출 장비입니다. 벡터 솔라 xT (Vector Sola xT) 는 600 ° C 이상의 온도에서 높은 정확도, 고품질 노출을 제공할 수 있으며, 가장 복잡한 구조를 생산할 수있는 고속, 고해상도 패턴 오버레이를 제공합니다. 이 시스템은 고정밀도 다각형 스캐닝을 갖춘 고급 2 단계 광 장치 (optical unit) 와 초해상도 패턴 오버레이 (overlay) 를 사용하여 고속 마이크론 스케일 피쳐의 정밀 패턴을 구현합니다. 독자적인 알고리즘을 갖춘 고급 근거리 광학 헤드를 통해 명암이 높은 정확하고 HD (고화질) 이미징을 구현할 수 있습니다. 이것은 전체 기판 필드에 걸쳐 노드 균일성과 균일성을 향상시킵니다. 고속 노출 기계의 총 처리량은 시간당 최대 225 개의 웨이퍼입니다. 높은 정확도의 슬릿 스캐닝 (slit-scanning) 알고리즘과 빠른 필드 스티칭 (field stitching) 기술이 적용되어 왜곡이 적은 원활한 이미징이 가능합니다. 이 높은 처리량은 주기 시간을 단축시켜 보다 효율적인 운영 작업을 지원합니다. NOVELLUS Vector Sola xT에는 고속 노출 기능 외에도 고급 진공 처리 도구 (Advanced Vacuum Handling Tool) 가 장착되어 기판의 빠른 로드 및 언로드가 가능합니다. 이것은 기판 진동으로 인한 노출 실패의 위험을 최소화합니다. 또한 처리량을 향상시키고 노출 주기 시간을 단축할 수 있습니다. 또한 Vector Sola xT에는 노출 매개변수를 정확하게 제어 할 수있는 고급 노출 제어 도구가 있습니다. 이렇게 하면 정확하고 안정적인 이미징 솔루션을 제공하여 프로세스 결과를 최적화할 수 있습니다. 에셋은 또한 정확한 노출 정렬을 보장하기 위해 높은 정확도 정렬 모델 (high-accuracy alignment model) 을 갖추고 기판에 대한 과잉 및 노출을 최소화합니다. 전반적으로 NOVELLUS Vector 솔라 xT (Sola xT) 는 반도체 산업의 정확한 석판 공정의 요구를 충족시키기 위해 설계된 고급 노출 장비입니다. 정확도가 높은 다각형 스캔, 2 단계 광학 시스템 및 초해상도 패턴 오버레이는 가장 복잡한 구조를 빠른 속도로 생산할 수 있습니다. 고급 진공 및 정렬 시스템 (Advanced Vacuum and Alignment Systems) 은 낮은 왜곡으로 정확하고 안정적인 이미징을 가능하게 하며, 노출 제어 장치는 프로세스 결과를 최적화하는 데 도움이됩니다.