판매용 중고 NITTO UM 810 #9130821

NITTO UM 810은 반도체 장치 생산을 위해 설계된 노출 장비입니다. 자외선 (UV light), 전자 빔 (electron beam) 및 레이저 기반 노출 기술의 조합을 사용하여 박막 또는 리소그래피 기판에 복잡한 패턴을 만드는 고급 시스템입니다. NITTO UM810은 최소 5 미크론의 복잡한 패턴을 생성 할 수 있습니다. 다기능적이고 유연한 플랫폼으로, 다양한 요구 사항을 충족할 수 있는 맞춤형 솔루션을 제공합니다. UM-810은 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 와 간단한 시스템 제어 기능을 갖춘 완전 자동화 장치입니다. 여기에는 자외선이 방출되어 물질을 노출시키는 광원 챔버 (light source chamber) 가 포함됩니다. 전자 빔 챔버는 반도체 기판에 밀링 된 전자 빔을 제어합니다. LBE (Laser-Based Exposure) 도구는 레이저 출력을 정확히 배치하여 정렬 및 노출합니다. LBE에는 미세 패턴을위한 레이저 스캐너도 포함되어 있습니다. UM 810 은 기판에 빛을 집중시켜 고해상도 이미징 (high resolution imaging) 을 제공하는 광 서브시스템을 탑재했다. 광학 하위 시스템에는 광원, 현장 생성기, 고강도 광원, 투영 광학, 디지털 프레임 그래버, 초점 에셋이 포함됩니다. 이 모델은 반도체 칩을 서로 결합하기 위해 서브 미크론 레벨 정렬에 사용될 수도 있습니다. UM810 은 수율 최적화 (Yield Optimization) 기능을 통해 시간을 절약하고 비용을 절감하는 매우 정확한 장비입니다. 그것은 금속, 폴리머, 유리를 포함한 다양한 재료의 기질과 매우 호환됩니다. LED 노출 소스는 허용 범위 내에서 결과를 재현할 수 있도록 보장합니다. 마지막으로, 이 시스템은 손쉬운 운영 및 업그레이드 기능을 제공하여, 어떠한 노출 요건도 충족할 수 있는 최적의 선택입니다.