판매용 중고 FUSION G03 #9196371

FUSION G03은 반도체 정렬 및 스테퍼를 위해 설계된 고급 노출 장비입니다. 고급 정밀도를 위한 자동 초점 2D 정렬 측정 시스템, 뛰어난 균일성을 위한 고밀도 레이저 정렬 및 레티클 클램핑 (reticle clamping) 이 특징입니다. 노출 장치에는 최첨단 자동 레벨링 머신이 장착되어 있어, 노출 영역 전체에 걸쳐 빠르고, 정확하고, 정확한 레벨링을 제공하며, 또한 뛰어난 오버레이 성능을 제공합니다. 노출 도구는 최대 24 "장치 수준 장치를 노출 할 수 있으며, 고해상도 패턴 생성기를 가지고 있으며, 이를 통해 최대 21äm의 패턴을 사용할 수 있으며 4 방향 노출이 가능합니다. 이 자산에는 고성능 LED 퓨저 (LED fuser) 가 있으며, 이는 최고 0.4äm의 변동 범위와 뛰어난 밝기 및 대비를 제공하며, 노출 변화를 줄일 수 있습니다. 이 모델에는 또한 고정밀 3 차원 스캐너 (scanner) 가 장착되어 여러 정렬자에 걸쳐 정확한 정렬을 보장하며, 정확도가 높은 정렬 결함 인식 및 오버레이 일치 (overlay matching) 와 같은 다양한 제어 기능이 있습니다. 또한, 장비는 장치 및 레티클 처리를 위해 완전히 자동화되도록 설계되었습니다. 또한 범프 레티클 (bump reticle) 과 같은 다양한 레티클 유형과 호환되며, 고해상도 레티클 클램프가 장착되어 있습니다. 이 시스템은 또한 SEM (Scanning Electron Microscope), AFM (Atomic Force Microscope) 검사 및 광학 검사를 포함하여 다양한 도량형 기능을 갖춘 고급 도량형 플랫폼을 갖추고 있습니다. 도량형 기능은 뛰어난 패턴 균일성과 재현성을 보장하기 위해 설계되었습니다. 전체적으로, G03은 정밀 반도체 정렬 및 노출을 위해 설계된 고성능, 고급 노출 장치입니다. 이 기능은 생산 라인 및 기타 대용량 반도체 제조 어플리케이션에 이상적인 선택입니다.