판매용 중고 EXFO / EFOS IQ-203 #9152167

EXFO/EFOS IQ-203은 EXFO Instruments의 엔지니어링 전문가가 만든 고급 노출 장비입니다. 이 시스템은 25 나노 미터 이하의 임계 치수 (CD) 라인/공간 측정을 위해 설계되었습니다. EXFO IQ-203은 자동화된 Prober 및 3축 포지셔닝 플랫폼을 사용하여 정확하고 반복 가능한 노출 성능을 보장합니다. 노출 장치는 또한 고 유전체 상수가있는 재료를위한 통합 자동 포토리스 스틱 코팅 플랫폼을 갖추고 있습니다. EFOS IQ-203은 최첨단 옵틱을 사용하여 일관된 고해상도 이미징을 제공합니다. 노출 기계의 하드웨어는 정확한 이미징에 필요한 고정밀 (high-precision) 동작을 견딜 수 있도록 설계되었습니다. 이 도구는 3 축 서보 동력 포지셔너를 사용하여 광학 구성 요소를 정확하고 반복적으로 배치합니다. X-Y 스테이지의 해상도는 0.1 µm, 위치 정확도는 1 äm입니다. 세 번째 (Z) 축은 0.01 µm 정밀도의 움직임으로 초점 깊이 200 유로를 제공합니다. 또한, 노출 자산에는 이미징 광학 (imaging optics) 과 관련하여 기판의 전체 각도 제어를 제공하는 회전 단계가 포함됩니다. 또한 IQ-203에는 고성능 이미징 모델이 제공됩니다. 이 장비는 균일 한 시야를 가진 단색 또는 다색성 조명을 사용합니다. 또한 최대 3 미크론 해상도의 이미지를 제작할 수있는 고해상도 디지털 카메라가 있습니다 (영문). 또한, 노출 시스템에는 샘플의 동작에 따라 이미징을 조정하는 통합 자동 초점 (auto-focus) 기능이 있습니다. EXFO/EFOS IQ-203은 또한 샘플의 임계 치수와 피쳐를 측정하는 정밀 도량형과 통합됩니다. 이 기계에는 온보드 레이저 (on-board laser) 가 장착되어 있어 빠른 비접촉 측정을 수행할 수 있습니다. 또한, 노출 도구에는 자동 제어 소프트웨어 (automated control software) 가 포함되어 있어 사용자가 즉시 노출 프로세스를 설정하고 모니터링할 수 있습니다. 전반적으로 EXFO IQ-203은 고정밀 이미징 및 도량형 측정을 위해 설계된 고급 노출 자산입니다. 통합된 하드웨어와 소프트웨어를 통해 샘플의 중요 기능과 크기 (크기) 를 빠르고 정확하게 측정할 수 있습니다. 이 모델은 고급 마이크로 일렉트로닉스 및 반도체 응용 프로그램에 이상적인 선택입니다.