판매용 중고 ELITE ELC 4000 #293593206
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ELITE ELC 4000은 고급 노출 장비로, 리소그래피 설계 및 생산에서 뛰어난 유연성을 제공합니다. 이 시스템은 높은 처리량, 정밀도, 빠른 개발이 필요한 고급 리소그래피 (lithography) 애플리케이션에 적합합니다. 이 장치는 다양한 구성 요소와 기능을 통합하여 비용 효율적이고 안정적인 성능을 제공합니다. ELC 4000은 마스크 투영, 스텝 앤 리피트 (step and repeat), 정적 (static) 및 가변 용량 등 다양한 노출 기술을 사용할 수 있습니다. 이 기계는 처리량을 최적화하도록 설계되었으며, 대용량 기판 (large substrate) 이나 작업 공간 (working space) 에 일관된 이미지를 구성할 수 있습니다. 이 도구는 생산 리소그래피 및 HDI의 대형 웨이퍼 (wafer) 크기를 지원할 수 있으며, 매우 복잡한 인쇄 회로 기판 및 디스플레이를 제작하는 데 이상적입니다. 에셋은 고해상도 카메라, 인체 공학 이미징 모델, 고급 마스크 스테이지, 고효율 광원으로 구성됩니다. 카메라는 저소음, 높은 동적 범위 이미징을 통해 뛰어난 해상도를 제공합니다. 이미징 (Imaging) 장비는 로드 및 언로드 시간이 단축되도록 설계되었으며 강력한 이미징 알고리즘 라이브러리를 포함합니다. 마스크 스테이지는 정확도 향상을 위해 개발되었으며, 고급 모터와 옵티컬 피드백 시스템 (optical feedback system) 을 포함합니다. 효율적인 광원은 synchronic halogen 램프를 사용하여 수명 연장 및 신뢰할 수있는 강도를 제공합니다. ELITE ELC 4000은 사용자 친화적이며 실시간 피드백 및 자동화 기능을 제공합니다. 이 시스템은 ESI Ltd 의 소프트웨어 제품군과 상호 작용하여 프로세스 제어를 강화하고 포괄적인 데이터 캡처 및 분석 기능을 제공합니다 (영문). 운영자는 터치 스크린 제어를 통해 다양한 스캔 템플릿 설정 (scan template setting) 을 선택할 수 있으며, 자동 정렬을 통해 빠른 프로세스 설정 및 스크랩 감소가 가능합니다. 또한, 이 장치에는 다양한 웨이퍼 크기를 수용하기위한 모듈 식 프레임 설계가 있습니다. ELC 4000은 다양한 생산 응용 프로그램을위한 다목적, 경제적 리소그래피 솔루션을 제공합니다. 최고 수준의 생산성과 효율성을 보장하는 반면, 탁월한 이미징 기능은 고밀도 리소그래피 (lithography) 결과를 달성하는 데 도움이 됩니다.
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