판매용 중고 ELECTRON VISION ElectronCure 30X #9191672

ELECTRON VISION ElectronCure 30X는 리소그래피 프로세스에 사용되는 강력하고 안정적인 노출 장비입니다. 깊은 UV 및 전자 빔 리소그래피 기술로 노출 될 수 있습니다. 전자 빔과 수은 램프 소스의 독특한 조합이 있습니다. 고해상도 (High Resolution) 와 우수한 초점 안정성을 제공하여 다양한 마이크로일렉트로닉 어플리케이션을 위한 탁월한 선택입니다. ElectronCure 30X는 뛰어난 초점 깊이 (DOF) 성능을 제공합니다. DOF는 전자 빔 (electron beam) 과 수은 램프 (mercury lamp) 에 의해 설계된 노출 용량 내에서 노출 될 수있는 영역입니다. ELECTRON VISION ElectronCure 30X의 DOF 범위는 엄청나게 넓어 전자 빔으로 최대 0.3 µm, 수은 원으로 0.7 äm까지 노출 할 수 있습니다. 전자 큐어 (ElectronCure) 30X의 소스 플럭스 (flux) 는 프로그래밍 가능하며, 이로 인해 노출 용량에 대한 높은 수준의 제어가 가능하며, 노출 과정에서 전자 빔 및 램프 강도를 조정할 수 있습니다. 또한 고급 자동 초점 (Auto Focusing) 옵션을 통해 한 영역을 빠르게 스캔하고 정확하게 초점을 맞출 수 있습니다. 이렇게 하면 투영 설계 (Projected Design) 와 기판 (Substrate) 을 적절하게 조정할 수 있으므로 기존 응용 프로그램과 새 응용 프로그램 모두에 이상적인 옵션이 됩니다. 이 시스템은 또한 우수한 용량의 균일성 (uniformity) 을 제공합니다. 즉, 도전적인 디자인으로 작업 할 때에도 용량이 균일 하게 조정 될 수 있습니다. 또한 소프트웨어 패키지 (software package) 를 사용하여 노출 프로세스에 대한 제어를 강화하고 배치 프로세스 능력을 향상시킵니다. 즉, 서로 다른 설계 자원과 운영 계층 간에 데이터를 쉽고 정확하게 전송할 수 있습니다. ELECTRON VISION ElectronCure 30X (ElectronCure 30X) 는 안정적이고, 안정적이며, 견고한 장치로, 사용자가 가장 일관된 결과를 얻을 수 있는 최고의 품질의 이미지를 제공합니다. 원활한 운영, 탁월한 정확성, 반복성, 기존/새로운 출력 요구 사항을 모두 충족할 수 있도록 지원합니다. 해상도 (Resolution) 와 초점 안정성 (Focus Stability) 측면에서, 이 기계는 오늘날 사용 가능한 가장 고급적이고 다양한 노출 시스템 중 하나입니다. 간단한 1D 라인 그라인딩에서 복잡한 3D 패턴에 이르기까지 대부분의 리소그래피 프로세스에 사용할 수 있습니다.