판매용 중고 DS SEMICON DSUV18-07 #9220333

ID: 9220333
UV Cure system.
DS SEMICON DSUV18-07은 반도체 부품 생산에 사용되는 고성능 자동 노출 장비입니다. 여기에는 다양한 구성 요소와 기능이 포함되어 있어 운영/연구 환경을 위한 최적의 선택입니다 (영문). 이 시스템은 선형 모터 구동, 회전 및 인덱스 테이블을 통합하여 정밀 노출이 가능합니다. 이 표에는 0.50 "두께의 ZFC (Zero Force Compensation) 레이어와 0.30" 두께의 정렬 레이어가 있으며 모두 고정밀 기판 정렬에 최적화되었습니다. 또한 전용 조명 정렬 현미경 (alignment microscope) 이 장착되어 기판을 정렬할 때 더 정밀하고 편리합니다. 노출 장치 (Exposure Unit) 에는 효과적인 노출 및 향상된 처리량을 보장하도록 설계된 고급 기능이 포함되어 있습니다. 이러한 기능에는 프로그래밍 가능한 패턴 템플릿 라이브러리, 자동 초점 루틴, 실시간 모니터링 및 진단이 포함됩니다. 이 라이브러리는 내장 패턴 모양과 크기가 많아 패턴 등록 오류 (pattern registration error) 가 감소하여 빠르고 정확한 패턴 노출을 보장합니다. 자동 집중 루틴 (auto-focusing routine) 은 노출이 최적으로 집중되는 반면, 실시간 모니터링 및 진단은 변화에 대한 빠른 반응을 허용하고 좋은 생산 수율을 유지하는 데 도움이됩니다. 직관적인 제어가 가능한 편리한 사용자 인터페이스를 통해 시스템을 제어할 수 있습니다. 사용자 친화적인 설계로 화면 사이를 쉽게 탐색할 수 있습니다. 또한, 미디어 유연성을 통해 photomask, resist, circuit board 등 다양한 생산 재료를 사용할 수 있습니다. DSUV18-07 (DSUV18-07) 은 안정적이고 고성능 노출 툴이 필요한 운영 및 연구 환경에 이상적인 선택입니다. 구축, 사용이 용이하여 다양한 환경에서 우수한 수익률과 처리량을 보장합니다 (영문). 고급 기능 및 구성 요소를 갖춘 DS SEMICON DSUV18-07은 반도체 구성 요소 생산에서 탁월한 정확성과 성능을 보장합니다.
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