판매용 중고 DS SEMICON DS 141 #9400972

DS SEMICON DS 141
ID: 9400972
UV System.
DS SEMICON DS 141은 고급 반도체 장치의 대용량 생산을 위해 설계된 정밀 웨이퍼 노출 장비입니다. 특히, 까다로운 생산 조건에서도 민감한 웨이퍼가 일관되고 안정적으로 노출되도록 설계되었습니다. DS 141 은 레이저 정렬, 최첨단 Optics 플랫폼으로 구성되어 환경 조건에 관계없이 와퍼를 정확하고 정확하게 노출할 수 있습니다. 이것은 공정의 요구에 따라 머시닝 속도 (machining speed) 와 해상도를 빠르게 조정할 수있는 고효율적이고 최적화된 스테퍼 모터 (stepper motor) 를 보완합니다. 이 시스템은 멀티 빔 투영 어레이 (multi-beam projection array) 를 사용하여 두꺼운 웨이퍼에서도 작은 피쳐의 고정밀 노출이 가능합니다. 반복 가능성과 정확성을 보장하기 위해, 노출 중 컴포넌트 부품의 포지셔닝은 고해상도 웨이퍼 추적 장치 (high resolution wafer-tracking unit) 를 사용하여 제어됩니다. 이것은 노출 스테이션과 베이킹 스테이션 사이를 전환하기위한 트윈 터렛 머신과 연결됩니다. 이 툴은 또한 노출 결과의 정확성과 일관성을 향상시키는 데 도움이 되는 자동화된 생산 환경 (automated production environment) 을 제공합니다. DS SEMICON DS 141 에는 진공 웨이퍼 처리 에셋과 고급 정렬 기능이 장착되어 있어, 노출 과정에서 최적의 성능을 제공합니다. 이 모델은 구성 능력이 뛰어나며, 생산성을 극대화하기 위해 다양한 유형의 가공소재 (workpiece) 를 수용하도록 조정할 수 있습니다. 또한 DS 141 은 디바이스 운영 라인의 다른 디바이스와 동기화되어 처리량을 최적화할 수 있습니다. DS SEMICON DS 141 은 신뢰성이 높고 효율적이며 경제적입니다. 이 장비 는 복잡한 "반도체 '구조 의 생산 에 적합 하기 때문 에, 산업 의 수요 를 충족 시키는 데 의존 할 수 있다. 효율적이고 자동화된 생산 환경과 결합된 높은 정확도, 반복성 (repeatability) 은 일관성과 신뢰성을 증명합니다.
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