판매용 중고 COLIGHT DMVL 1630 #293818181
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COLIGHT DMVL 1630은 마이크로 일렉트로닉 구성 요소 제작을위한 통합 화학 및 사진 해설을 제공하는 노출 장비입니다. 반도체 업계의 최첨단 응용프로그램에 이상적인 "정확하고 효과적인 '노출과정을 제공한다. 가장 까다로운 애플리케이션을 위한 광범위한 프로세스 통합 (Process Integration) 옵션을 제공하는 모듈식 설계입니다. COLIGHT DMVL-1630은 표면 패턴 응용 프로그램을 위해 최대 1 미크론의 노출 해상도를 갖춘 고정밀 노출 기능을 제공합니다. 최신 스캔 옵틱 (scan optic), 스캔 모듈 (scan module) 및 패턴 생성기 (pattern generator) 가 장착되어 있어 고해상도 노출 프로세스가 가능합니다. 또한, 이 장치는 사용하기 쉬운 인터페이스를 제공하여 프로세스 자동화, 빠른 설정 (setup) 을 통해 운영 프로세스의 효율성을 향상시킵니다. 또한 DMVL 1630은 IML (Integrated Maskless Lithography) 특성 기능으로 설계되어 인라인 실시간 패턴 검증을 지원합니다. 이렇게 하면 다음 레이어 (layer) 를 진행하기 전에 노출된 각 패턴의 품질을 확인할 수 있으며, 그 결과 생산량이 향상되고 제조 시간이 향상됩니다. 또한 DMVL-1630 은 알람 도어 (alarmed door), 자동 초점 보호 기능 (auto-focus protection function), 과압 경보 (overpressure alarm) 와 같은 다양한 내장 안전 기능을 갖추고 있습니다. 이 기계는 실험실과 프로덕션 환경 모두에 사용됩니다. 여기에는 수직/수평 자동화, 수동 조작, 자동 화학적 전달 시스템 (Automatic Chemical Delivery System) 등 다양한 옵션이 포함되어 있어 생산성이 향상됩니다. 또한 COLIGHT DMVL 1630은 고 엔트로피 합금, 금속 및 세라믹과 같은 광범위한 재료와 통합 될 수 있습니다. 이 도구 는 또한 "마이크로일렉트로닉 '성분 제조 에 사용 되는" 실리콘 웨이퍼', 유리 및 기타 기판 들 을 포함 하여 여러 가지 기판 들 과도 호환 된다. 전반적으로 COLIGHT DMVL-1630은 마이크로 전자 부품 제작을위한 고급 노출 및 리소그래피 프로세스를 제공합니다. 이 자산은 정확한 고해상도 노출 기능, 통합형 IML 특성 (IML characleization) 기능, 내장형 안전 기능을 통해 생산 프로세스를 간소화하고 반도체 업계의 생산량을 늘릴 수 있습니다.
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