판매용 중고 COHERENT Paladin 356 #293652700

COHERENT Paladin 356은 다중 소스, 다중 모드 작업을 사용자 친화적 인 그래픽 인터페이스와 결합한 노출 장비입니다. 광범위한 산업 응용프로그램을 위한 포괄적이고 원활한 솔루션 (영문) 을 제공하도록 설계되었습니다. Paladin 356은 최대 8 x 10 인치의 웨이퍼 크기를 특징으로합니다. 고급 수정 및 설계 수정에 대한 최적의 패턴 지원을 제공하기 위해 FEBG (Focused Electron Beam Generator) 로 설계되었습니다. 페브 (FEBG) 에는 에너지 (energy) 와 빔 전류 (beam current) 와 같은 다른 빔 매개변수를 사용할 수있는 2 개의 독립적 인 소스 액세스가 있습니다. COHERENT Paladin 356에는 매우 정확하고 빠른 모션 제어 장치도 있습니다. 여기에는 2 단계 xyz, 다이렉트 드라이브 모터, 지능형 모터 제어 기능 등 다양한 모션 제어 요소가 장착되어 있습니다. 이 기계는 패턴을 빠르고 정확하게 노출하고 측정하여 처리량 (throughput) 과 수율 (revield) 을 향상시킵니다. Paladin 356에는 많은 자동 테스트 및 측정 기능이 장착되어 있습니다. 여기에는 CCD 어레이가있는 이미징 도구와 직접 웨이퍼 매핑을위한 양자 효율 (QE) 검출기가 포함됩니다. 또한 이 에셋에는 자동 초점 기능 (auto-focus function) 이 장착되어 있어 웨이퍼 두께 (wafer thickness) 를 기준으로 초점 거리를 자동으로 조정할 수 있습니다. 이 모델은 또한 선도적 인 CAD 및 에칭 시스템과 통합되어, 처리를 위해 COHERENT Paladin 356으로 통합하기 위해 설계 데이터를 빠르고 효율적으로 전송할 수 있습니다. 이 고급 기능을 사용하면 더 적은 수의 하드웨어 구성 요소를 사용하여 보다 효율적인 워크플로우 (workflow) 를 생성할 수 있습니다. 또한 Paladin 356은 낮은 소유 비용과 운영을 제공합니다. 이 장비는 최소한의 비용으로 손쉽게 서비스 및 유지 관리할 수 있도록 설계되었습니다. 또한 사용이 간편한 GUI (그래픽 인터페이스) 를 통해 시스템 운영에 소요되는 교육 시간을 줄일 수 있습니다. 전반적으로 COHERENT Paladin 356 (COHERENT Paladin 356) 은 광범위한 산업 애플리케이션의 요구를 효율적으로 충족하도록 설계된 고급 노출 장치입니다. 직관적인 GUI (그래픽 인터페이스), 유연한 운영, 자동화된 테스트/측정 기능이 결합하여 효율적이고 경제적인 솔루션을 제공합니다.