판매용 중고 CHEMCUT 303 #9068989

CHEMCUT 303은 접촉 (양성음) 및 비 접점 (음성톤) 사진 석판 응용용으로 개발 된 최첨단 노출 장비입니다. 이 시스템은 다양한 첨단 기술 (advanced technologies) 을 결합하여 우수한 재현성과 노출 프로세스의 정확성을 제공합니다. 이 장치는 다중 계층 빔 스플리터 (multilayer beam splitter) 를 갖춘 고정 옵틱을 사용하여 이미지 크기를 15 x 15 인치까지 허용하면서 뛰어난 화질과 균일성을 제공합니다. 광학 레이아웃을 사용하면 자동화 플랫폼과 쉽게 통합할 수 있습니다. 광학은 저속 소프트 이온 소스와 2 빔 또는 단일 샷 리소그래피 (single-shot lithography) 를 노출 할 수있는 전자기 셔터를 특징으로합니다. 이 기계에는 정확한 전력 제어 및 용량 분배를 위해 조절 가능한 빔 컨트롤러도 포함되어 있습니다. 303에는 디지털 모션 컨트롤러 (Digital Motion Controller) 와 스테퍼 모터 (Stepper Motor) 가 장착되어 있어 노출 마스크와 기판의 위치와 방향을 자동화할 수 있습니다. 또한, 노출 영역과 이미지의 자동 정렬 및 위치 지정을 위한 정교한 소프트웨어 패키지도 포함되어 있습니다 (영문). 이 도구는 업계에서 널리 사용되는 ISO 및 JEDEC 표준을 준수하므로 여러 기판 유형과 크기에 적합합니다. CHEMCUT 303은 고급 노출 프로세스에 대한 신뢰할 수있는 솔루션을 제공합니다. 이 자산의 고급 옵틱 (optic), 정교한 컨트롤러 (controller) 및 화질 (image-quality) 소프트웨어는 선 패턴과 영역 구조의 안정적인 재생성을 보장합니다. 자동화된 모션 컨트롤을 통해, 303은 노출 오류를 최소화하면서 광범위한 프로세스 유연성을 제공합니다. 또한, 업계 표준 지침과의 호환성은 웨이퍼 패턴화부터 IC 패키징 및 MEMS 제조에 이르기까지 다양한 애플리케이션에 적합합니다.