판매용 중고 CBT CHUANBAO E2100-5KAC #9361780

CBT CHUANBAO E2100-5KAC는 정확성과 신뢰성이 필요한 반도체 장치를 위해 특별히 설계된 고급 노출 장비입니다. 크고 매우 상세한 디자인을 큰 칩 크기에 정확하게 노출 할 수 있으며, 석판화, 리소그래피 온 디맨드 (lithography-on-demand), 반도체 에칭 (semiconductor-etching) 등 다양한 응용 분야에 이상적입니다. 이 시스템에는 적외선 광원, 고정 스캔 장치 (SU) 장치, ST (Air Bearing Scan Table), CS (Chip Station) 기계 및 ZLS (Zero Level Tool) 가 있습니다. 적외선 광원은 기판에 설계를 제대로 노출시키기 위해 원하는 강도에 맞게 조정 할 수 있으며, 고정 SU (Fixed SU) 자산은 최적의 노출 정밀도를 유지하도록 설계되었습니다. 에어베어 ST (Air Bearing ST) 를 사용하면 칩의 빠르고 정확한 위치와 유지 보수 및 교정이 가능합니다. CS 모델은 각 ST 스테이션에 웨이퍼를 제공할 수 있는 효율적이고 정확한 솔루션을 제공합니다. 마지막으로, ZLS는 기판과 인접 사이의 크로스 토크 (crosstalk) 를 줄여 일관된 프로세스 제어를 보장하도록 설계되었습니다. E2100-5KAC는 칩을 거의 모든 방향에 정확하게 배치하는 다중 축 (multi-axis) 설계를 사용합니다. 장비는 또한 기판 온도를 제어 할 수 있으며, 빠른 속도 온도, 균일 한 가열로 적절한 노출이 가능합니다. 또한, 이 시스템은 사용 및 유지 보수가 용이하여, 과도한 기술 유지 보수가 필요하지 않습니다. 이 장치는 또한 매우 안정적이며, 한 번에 몇 시간 동안 중단되지 않고 작동 할 수 있습니다. 전반적으로 CBT CHUANBAO E2100-5KAC는 매우 빠른 속도로 고정밀 (High Precision) 디자인을 안정적으로 생성 할 수있는 고급적이고 안정적인 노출 기계입니다. 정확성, 안정성, 사용 편의성을 제공함으로써, 다양한 애플리케이션에 적합합니다.