판매용 중고 BELTRON B3000 #293589857

벨트론 B3000 (BELTRON B3000) 은 반도체 제조에 활용되는 사진도 (photolithography) 응용 분야에 사용되는 노출 장비이다. 이 시스템은 고도로 정확하고 정확한 이미지를 기판에 투사하여 노출시킬 수있는 고급 이미징 장치 (Advanced Imaging Unit) 를 갖추고 있습니다. 기계는 스테이지와 컨트롤러로 구성됩니다. 이 단계는 노출 중 기판의 정확한 위치를 제공하는 2 개의 선형 단계 (linear stage) 로 구성됩니다. 또한, 스테이지는 Z축 보정을 제공하며, 이는 웨이퍼 레벨 일관된 스테이지 왜곡을 보정하도록 설계되었습니다. 도구의 주요 기능은 ALS (Advanced Lens Asset) 입니다. 이 모델은 고급 이미지 투영 도구 (Advanced Image Projection Tool) 를 갖춘 사진 분석 시장에서 가장 높은 해상도를 제공합니다. 이 장비는 광원을 매우 정밀하게 투사하며, 해상도는 7nm입니다. 또한, 투영 된 광원 을 기판 의 다른 영역 으로 가로막거나 "출혈" 하는 것 을 방지 하여, 명백 하고 정확 한 "이미지 '를 보장 한다. B3000 은 정확한 이미지 투사 시스템 외에도 다양한 기능을 통해 안정성 및 프로세스 제어를 개선했습니다. 이러한 기능에는 노출 전에 기판의 청결 개선을 위한 독특한 2 단계 청소 프로세스, 노출 중 정확한 온도 제어를 위한 챔버온도 센서, 일관된 온도 제어를 위한 고효율 냉각 장치 (cooling unit) 가 포함됩니다. 이러한 기능은 정확하고 고품질 노출 결과를 보장합니다. BELTRON B3000 머신에는 강력한 소프트웨어 제품군도 있습니다. 이 제품군에는 데이터 분석 (data analysis) 도구, 사용하기 쉬운 인터페이스, 다양한 프로세스 매개변수 제어 기능이 포함되어 있습니다. 또한 정확한 이미징 성능을 위한 교정 도구가 포함되어 있습니다. 전반적으로 B3000 노출 도구 (Exposure Tool) 는 업계 최고의 이미징 기능, 프로세스에 대한 정확한 제어, 강력한 소프트웨어 툴을 제공하여 사진 해설을 위한 탁월한 선택입니다.