판매용 중고 AXCELIS Microlite #9388038

AXCELIS Microlite 노출 장비는 리소그래피 프로세스에 사용되는 고급적이고 정밀한 장치입니다. 반도체 웨이퍼의 생산 및 제작을 위해 특별히 설계되었으며, 이는 종종 집중적이고 상세한 작업이 필요합니다. 공중영상화시스템 (Aerial Imaging System) 의 정확성과 반복성, 고급형 옵티컬 유닛 (Optical Unit) 을 결합하여 최고의 성능을 제공합니다. 마이크로 라이트 (Microlite) 는 스테퍼, 패턴 생성기, 스테이지, 경보 도구, 카메라 및 기타 주변 장치를 포함한 여러 구성 요소를 사용하여 웨이퍼의 이미지 패턴을 사용하는 디지털 노출 기계입니다. 에셋은 이미징 (Imaging) 모델에 직접 장착된 고급 선형 (Advanced Linear) 단계를 활용하여 이미징을 위한 안정성이 높은 플랫폼을 만듭니다. 스테이지에는 4 개의 동작 축이 있으며 2 단계의 자동화 (automation) 로 구성되어 높은 정확성과 반복 성을 제공합니다. AXCELIS Microlite 는 여러 구성 요소로 구성되어 있으며, 각 구성 요소는 함께 작동하여 완벽한 노출 환경을 구축합니다. 장비의 핵심은 패턴 생성기 (pattern generator) 로, 정밀도와 정확도가 높은 패턴을 만들 수 있습니다. 이 단계는 컴팩트하고 견고하도록 설계되었습니다. 따라서 사용자는 넓은 표면적을 매우 정확하게 다룰 수 있습니다 (영문). 또한, 카메라 및 고급 옵틱은 추가 제어 및 향상된 이미징 기능을 제공하는 데 필수적입니다. 마지막으로 경보 시스템 (alarm system) 은 예기치 않은 상황의 경우 장치에 대한 보호 계층을 제공합니다. 이 기능은 시스템 컴포넌트의 상태를 모니터링하고, 잠재적 인 문제를 연산자에게 경고할 수 있습니다. 이 기능은 오작동 (Maunfunctioning) 또는 긴급 상황 (Emergency Situration) 을 방지하는 데 도움이 됩니다. 전반적으로, 마이크로 라이트 (Microlite) 도구는 강력한 리소그래피 모델을 만들기 위해 다양한 구성 요소로 구성 할 수있는, 고급적이고 안정적인 노출 자산입니다. 그것 의 인상적 인 정확성 과 정확성 은 고급 "반도체 '제조 를 위한 완전 한 선택 이다. 대규모로 정확성과 반복성 (repeatability) 을 제공하며, 웨이퍼에 대한 많은 고도로 상세하고 복잡한 패턴을 빠르고 쉽게 생성하는 데 사용될 수 있습니다.