판매용 중고 VEECO VS400 #9199587

VEECO VS400은 박막 증착 프로세스에 사용되는 증발기입니다. 다용도 증발기 (evaporator) 는 우수한 증착률과 균일성을 제공하며, 매우 정확한 온도 조절과 일관된 성능을 제공합니다. VS400 은 최대 4 개의 원소 또는 합금 재료를 포함하는 소스에서 박막 (thin film of material) 을 배치하도록 설계되었습니다. 효율적인 증발을 위해 RF 및 DC 전원을 모두 사용합니다. 증발기는 스테인레스 스틸 (stainless steel) 로 구성된 정밀 가공 수냉식 구리 챔버로 구성되며, 증착 과정을 볼 수있는 석영 창이 있습니다. 소스 재료는 증발을 위해 도가니에 적재 된 후, RF 및 DC 전원을 통해 가열된다. 증발제에 내부 DC 바이어스를 적용 할 수 있으며, 이를 통해 산소가 없거나 도핑 된 필름을 만들 수 있습니다. 이 방에는 표면을 에칭하기위한 이온 소스 (ion source) 가 있으며, 우수한 표면 청소와 부드러운 마무리를 제공합니다. 증발기에는 터보 펌프 (turbo pump) 가 장착되어 있는데, 이 펌프는 증착 과정이 끝날 때 챔버를 대피시키는 데 사용됩니다. 이것은 증착 과정으로 인한 최고 품질의 박막을 보장합니다. 또한 VEECO VS400은 RF 및 DC 전원 제어 외에도 증발기의 프로세스 압력, 흐름 속도, 냉각 (cooling) 기능을 제어할 수 있습니다. 이것은 박막 증착 과정을 엄청나게 제어합니다. VS400 은 매우 신뢰할 수 있는 머신으로, 뛰어난 품질과 뛰어난 균일성을 지닌 탁월한 영화를 제작합니다. 고급 제어 (control) 및 모니터링 기능으로 인해 VEECO VS400 (VEECO VS400) 에서 생성한 결과가 박막 증착 프로세스에 가장 적합합니다. 또한 VS400 의 수명과 성능이 경쟁업체보다 우위를 점할 수 있습니다 (영문).