판매용 중고 VEECO VE 775 #70872
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ID: 70872
Vacuum evaporator. Includes 18" ID x 30" tall Pyrex bell jar with implosion cage on a 20" diameter stainless baseplate with electromechanical hoist, requires major components, modification and overhaul.
VEECO VE 775 증발기는 박막 및 박막 온 글라스 제품의 생산을위한 안정적이고 비용 효율적인 증발기입니다. 이 내구성 있는 증발기 는 반도체, 의료, 전자 장치, 광전자 장치 등 매우 다양 한 응용 분야 에 이상적 이다. 증발기는 oZone8W 열 처리 플랫폼을 갖추고 있으며, 이는 정확한 프로세스 제어 및 뛰어난 장비 안정성을 제공합니다. 강력하고 신뢰할 수있는 열 처리 플랫폼은 250 ° C ~ 800 ° C의 모든 공정 온도를 포함 할 수 있습니다. 온도 안정성은 ± 3 ° C 이내를 모니터링하는 매우 정확한 온도 조절 시스템으로 달성됩니다. VE 775 증발기는 독립적 인 광학 피로미터 (optical pyrometer) 가있는 정교한 선형 존 제어 아키텍처를 사용하여 기판 온도를 정확하게 조절하고 모니터링합니다. 이 설계는 또한 더 큰 기판에 얇은 금속 층을 증착 할 수 있습니다. 증발기 가열 장치 (Evaporator heating unit) 는 후면에서 기판을 효율적으로 가열하여 빠른 열 활성화 (thermal activation) 및 안정적인 제품 품질을 제공하도록 설계되었습니다. 다중 영역 열 소스 머신 (multi-zone heat source machine) 도 처리량을 증가시켜, 동시에 가열이 필요한 경우 한 번에 하나의 기판을 처리하거나 여러 기판을 처리할 수 있습니다. 통합 열 분산 도구는 전체 기판 표면에서 균일 한 기판 온도를 보장합니다. 여러 기판 사이의 온도 균형을 지속적으로 조정하기 위해 피드백 제어 (feedback control) 자산이 사용됩니다. 증발기에는 실시간 데이터 표시 및 제어를 제공하는 쿼츠 마이크로 컨트롤러 (옵션) 도 있습니다. 이 모델은 DC 전압, 전류, 총 전력 및 기판 온도를 포함하여 최대 8 개의 데이터 채널을 기록합니다. VEECO VE 775 증발기는 박막 및 박막 온 글라스 제품의 생산을 위해 안정적이고 효율적인 솔루션입니다. 최적화된 선형 영역 제어 아키텍처 (Linear Zone Control Architecture) 와 마이크로 컨트롤러와 결합 된 정밀 온도 제어 (Precision Temperon Control) 는이 증발기가 다양한 고정밀 프로세스에 적합합니다. 반도체, 의료, 전자 및 광전자 장치 생산에 이상적인 도구입니다.
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