판매용 중고 VEECO Filament Evaporator #9155361
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ID: 9155361
System
25"Diameter x30" stainless steel bell jar
Diffusion pump
Ion/ TC gage
2 Stage direct drive roughing pump
Dual source with switch to choose source.
VEECO 필라멘트 증발기 (VEECO Filament Evaporator) 는 다양한 기판 재료에 얇은 필름을 균일하게 보관하도록 설계된 최첨단 증발기 장비입니다. 저항성 필라멘트 필라멘트 가열원을 사용하여 금속, 산화물, 질화물, 다양한 유기 화합물을 포함한 거의 모든 물질의 필름을 증착합니다. 증발기는 필라멘트 증발 원, 기판 보유자, 배기 시스템을 포함하는 진공 등급 주택으로 구성됩니다. 전체 단위는 진공 챔버 (vacuum chamber) 에 있으며, 외부 환경에서 절연되어 증발 필름 증착 과정에 필요한 높은 진공을 유지합니다. 필라멘트 증발기 (Filament Evaporator machine) 는 DC 전류를 필라멘트 소스에 직접 전달하는 직류 전원 공급 장치에 의해 구동됩니다. "필라멘트 '를 통하여 흐르는 전류 의 양 은" 소오스' 로부터 증발 된 물질 이 도달 할 수 있는 최대 의 온도 를 결정 한다. 이 근원은 일반적으로 산화를 줄이기 위해 보호 코팅으로 덮인 텅스텐 필라멘트 (tungsten filament) 로 구성됩니다. 소스는 최대 2000 ° C의 온도로 가열되며, 이는 모든 물질에 대해 증발하기에 충분히 뜨겁습니다. 이 툴에는 여러 가지 액세서리 (accessory) 와 제어 (control) 가 포함되어 있어 다양한 응용 프로그램에서 사용할 수 있습니다. 예를 들어, 소스는 x, y, z축을 따라 이동하여 필름 두께의 균일성을 보장할 수 있습니다. 물질 을 증발 시키는 속도 를 조절 하는 데 사용 할 수 있는 가변 "셔터 '가 있는데, 이것 은 증착 률 을 정확 히 제어 할 수 있게 해 준다. 기판 "홀더 '는 물질 이" 소오스' 로부터 증발 되는 동안 기판 을 제자리 에 두도록 설계 되었다. 기판 "홀더 '는 또한 기판 이 강착 의 적절 한 온도 에 있음 을 확인 한다. 증발기는 또한 압력 조절 배기 자산 (pressure-regulated exhaust asset) 과 함께 제공되어 소스에서 증발 된 과도한 물질을 지속적으로 펌핑합니다. VEECO Filament Evaporator는 영화 및 코팅 제작에 귀중한 도구입니다. 증발 속도, 증발 소스 (evaporation source) 이동 능력, 다양한 유형의 물질을 증발 할 수있는 능력을 정확하게 제어하면 매우 다재다능한 모델이됩니다. 통일된 두께와 품질의 영화를 제작할 수 있는 안정적이고 효율적인 방법입니다 (영문).
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