판매용 중고 VEECO 775 #545

VEECO 775 증발기는 고정밀 Vapour Phase Epitaxial Reactor로, 최고 품질의 반도체 성장 과정 및 재료를 제공하도록 설계되었습니다. 이 증발기는 온도의 정확한 제어로 기화를 허용하는 인클로저입니다. 775는 온도 조절을 위해 3-zone furnace를 사용하며, 여러 zone 및 operation에서 온도 프로파일에 대해 사용자 정의할 수 있습니다. VEECO 775는 화학 증기 증착 (CVD), 원자층 증착 (ALD) 또는 기타 증기 증착 공정과 같은 증착 단계에 이상적입니다. 대용량 운영 환경에서 반복 가능하고, 균일하며, 일관된 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 775 증발기 (evaporator) 는 고급 독점 셔터 기술을 활용하여 다양한 어플리케이션에 높은 처리량과 균일성을 제공합니다. 셔터 제어는 각 증발 카세트에 대한 개별 제어가 제공되며, 셔터에는 온도 안정성 (temperature stability) 및 반복성 (repeatability) 에 대한 온도 보상이 포함됩니다. 셔터 시스템은 또한 높은 수준의 프로세스 제어 (process control) 를 제공하여 셔터 개폐 시간 (opening and closing time) 과 동적 열 모드 전환을 정확하게 제어할 수 있습니다. VEECO 775는 또한 고성능 진공 챔버 (vacuum chamber) 를 갖추고 있어 높은 온도 안정성과 반복성을 제공합니다. 자가 청소 침식 방지 내화 창을 갖추고 있으며, 다운타임을 최소화하고 수확량을 증가시킵니다. 이 증발기 (evaporator) 는 매우 높은 진공 프로세스 단계를 달성하여 복잡한 원자층의 증착을 가능하게하며, 이는 대부분의 고급 장치 프로세스에 필수적입니다. 775 는 대용량 웨이퍼 캐리어 (Wafer Carrier) 가 내장되어 있어 대용량 Wafer Carrier 를 통해 대용량 제조 프로세스 실행과 전체 레시피 기반 제어 기능을 제공하여 수작업 (manual work) 을 줄이고 저렴한 운영 환경을 제공합니다. 또한 VEECO 775는 실시간 모니터링을 제공하여 정확한 프로세스 조정 및 문제 해결을 지원합니다. Platinum 900 Soothing Station과 같은 다른 VEECO 시스템과 원활하게 작동하도록 설계되었습니다. 775 는 매우 다양한 증발기 (evaporator) 로, 모든 종류의 대용량 제조 애플리케이션에 대해 매우 정밀하고 반복적인 기능을 제공하여 고객의 요구 사항을 완벽하게 충족할 수 있습니다.