판매용 중고 VEECO 775 #165752

VEECO 775는 주로 진공 두꺼운 필름 처리 기계에 사용되는 증발기입니다. 이 "시스템 '은 성장 과정 중 에 여러 가지 기질 로부터, 원치 않는 오염 물질 을 적극 증발 시키고 제거 하도록 설계 되었다. 이 고성능 증발기는 정확한 온도 조절, 개선 된 프로세스 제어 및 유연성, 보다 안정적인 소스 재료 증착을 허용합니다. 775 는 내구성과 내식성을 위해 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 만들어졌으며, 최대 작동 압력이 800 Torr 인 진공 진공입니다. 여기에는 2 개의 석영 이중 온도 구역, 각 구역에 대한 2 개의 내성 히터, 기판 표면에 대한 온도 균일성을 제공하는 1 차 냉기 지문이 포함됩니다. 증발기는 소스 재료 증착의 균질성을 보장하기 위해 별도의 소스 로딩 (source loading) 및 전원 제어 (power control) 가있는 이중 깊이 챔버를 특징으로합니다. 다중 레벨 소스 잠금 장치 (multi-level source lock) 는 기계적 교란 없이 소스 로드를 허용하는 반면, 교체 가능한 바닥 플레이트는 증발 챔버의 열 균일성을 보장합니다. VEECO 775 는 동적 마이크로밸런스 피드백 제어 시스템 (dynamic microbalance feedback control system) 을 사용하여 기판에 증착된 무게를 모니터링하고 정확한 증착률을 유지합니다. 피해 지역의 세라믹 증착 률을 높이거나 줄이기 위해 추가 증발 조정 (Additional evaporation adjustment) 을 할 수 있습니다. 또한 고급 여과 시스템 (Advanced filtration system) 을 갖추고 있으며, 크리스탈 클린 증착 환경을 유지하고 잔류 물 또는 오염 물질을 제거하고 제품의 품질을 보장합니다. 이 증발기는 증착률 향상, 프로세스 제어 향상, 유연성 향상, 소스 재료 정확도 향상 등 다양한 이점을 제공합니다. 견고한 설계를 통해 모든 프로세스 조건에서 안정적인 작동을 보장하고, 장비의 수명 (수명) 과 가동 시간 (가동 시간) 을 단축할 수 있습니다. 775 (775) 는 증착률이 높고 증착과정을 정확하게 제어해야 하는 기판· 재료에 이상적인 솔루션이다. 또한 안정성과 성능이 핵심인 부식성이 높은 환경에 적합한 솔루션입니다 (영문).