판매용 중고 ULVAC Satella #9160531

제조사
ULVAC
모델
Satella
ID: 9160531
빈티지: 2006
Vacuum evaporation system Cluster tool Substrate size: 185mm x 235mm x 0.7mmt Tact time: 30 minutes Applications: R&D, device prototypes System configuration: Pre-processing →Hole layer→Luminescent layer (R→G→B) →Electrode layer→ Sealing (manual) Organic deposition processes Multiple independent chamber Full-color device production Difficult application for Solciet 7-Sided transfer chamber Support 2 to 4 organic deposition chambers High-precision mask alignment mechanism for active-matrix full-color devices Currently de-installed 2006 vintage.
ULVAC Satella는 박막 증착에 사용되는 혁신적인 스퍼터 장비입니다. 이 시스템은 RF 마그네트론 스퍼터링 소스 (magnetron sputtering source) 와 수평 평면에 배치 된 가스 구동 이온 소스 (gas-powered ion source) 로 구성된 독특한 구성을 갖습니다. 이 장치는 다양한 산업, 의료, 분석 분야에 사용되는 고품질, 균일 한 영화를 생산합니다. 기계는 본체의 기저에 장착 된 RF (Radio Frequency) 마그네트론 스퍼터링 소스를 통합합니다. 이 소스는 전도성 필름을 높은 속도로 증착 할 수 있습니다. 고전압 (HV) 가스원으로 구동되는 이온 소스 (ion source) 는 수직 평면에 위치한다. 이를 통해 금속 표적의 동시 이온 폭격을 가능하게하여 부드럽고 깨끗한 표면 코팅을 가능하게합니다. 사텔라 (Satella) 는 효율적인 디자인과 고성능 재료 처리 기능으로 인해 금속 기판에 하드 코팅을 형성하기에 적합합니다. 이 공구는 재료 이온화를 잘 제어하여 가공소재 코팅 응용 프로그램에 이상적입니다. 이온 공급원 (ion source) 은 극도로 낮은 온도에서도 고도로 집중된 빔을 생성하여 손상 위험없이 균일 한 증착을 보장합니다. 에셋에는 편리한 작업을 위한 GUI (Graphical User Interface) 와 필름 레이어의 자동 증착과 같은 여러 사용자 친화적 인 기능이 있습니다. 또한 온도 조절, 압력 조절, 자동 교정 (automatic calibration) 과 같은 다양한 유용한 기능도 제공됩니다. 이 모델은 로봇을 포함한 많은 어댑터와 호환되며, 여러 프로세스 흐름 구성 및 자동화에 적합합니다. ULVAC Satella에는 완전히 자동화되고 프로그래밍 가능한 스퍼터링 장비가 있어 설정 시간이 단축되고 생산 처리량이 증가합니다. 금속 증발, 박막 증착, 반도체 증착, 이온 이식 등 다양한 박막 증착 프로세스에 사용할 수 있습니다. Satella는 신뢰할 수 있고, 사용자 친화적이며, 비용 효율적인 스퍼터링 시스템으로, 뛰어난 성능으로 고품질의 균일 한 영화를 얻을 수 있습니다. 이 장치는 강력한 기능과 직관적인 디자인 (design) 으로, 제품의 품질을 빠르게 향상시키려는 기업에 적합한 옵션입니다.
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