판매용 중고 ULVAC LIS #9078392

ULVAC LIS는 진공 기술을 전문으로하는 회사 인 ULVAC, Inc.에서 제조 한 증발기입니다. 반도체 및 광전자 산업에서 주로 사용되는 저진공 증발기입니다. 증발기 (evaporator) 는 박막 재료의 빠르고 균일 한 증발을 인상적인 정확성과 반복성으로 제공하도록 설계되었습니다. LIS는 세라믹 (ceramic) 과 스테인리스 (stainless) 재료를 조합하여 제작되어 가볍고 내구성이 뛰어납니다. 그것은 원자화 장치, 진공 챔버 및 기판 척으로 구성됩니다. "아토마이저 '장치 에는 RF 유도" 안테나', "헬륨 '및/또는 질소" 가스' 및 증발 속도 와 지속 시간 을 조절 할 수 있는 "셔터 '장치 가 들어 있다. 진공실은 스테인리스 스틸로 만들어졌으며 세라믹 챔버 라이너를 포함합니다. 기판 척은 기질을 보유하며, 박막 층의 균일 한 증발을 보장하기 위해 조정 될 수있다. ULVAC LIS의 진공 수준은 10-5 토르이며 온도 범위는 0-500 ° C입니다. 급속한 증발기이며, 최대 1 nm (초) 의 물질을 증발 할 수 있으며, 이는 반도체 산업의 대량 수요에 이상적입니다. 또한, RF 소스의 정확한 위치는 전체 기판에 대한 균일 한 증발을 보장합니다. LIS는 쉽게 작동하며 최소한의 유지 보수가 필요합니다. 자세한 작동 및 안전 지침이 포함된 온보드 컴퓨터가 장착되어 있습니다. 또한 과압 보호 및 경고 경보와 같은 안전 기능이 있습니다. 증발기 (Evaporator) 는 또한 모듈식 설계를 통해 빠른 서비스 또는 부품 교체를 위해 쉽게 분해할 수 있습니다. ULVAC LIS는 일관된 기질 적용 범위를 제공하며 산화물 필름 증착, 저항성 필름 증착, 증착 필름 절단, 고급 웨이퍼 통합 등 다양한 박막 프로세스에 적합합니다. 증발의 균일성은 집적 회로 생산과 같은 정밀 박막 응용 분야에 이상적입니다. 또한, 속도 및 온도 조절은 빠르고 균일 한 증발이 필요한 프로세스에 이상적인 증발기 (evaporator) 가됩니다.