판매용 중고 ULVAC EX-550 #9230476

ULVAC EX-550은 반도체 연구 및 개발에 널리 사용되는 건식 증발 장비입니다. 증발기 (evaporator) 기술을 사용하여 표면 또는 기판에 박막 퇴적물을 생성하는 다목적 실험실 도구입니다. 단순한 자동 설계로 작동이 쉽고 정확한 증착 제어가 가능합니다. EX-550 증발 시스템에는 두 개의 독립적으로 제어 된 증발 소스가 포함되어 있습니다. 한 가지 일반적인 원천은 전자 빔 건 (electron beam gun) 에 장착 된 저항 가열 필라멘트로, 금속 및 금속 합금 증발에 사용됩니다. 두 번째 소스는 유기 물질 증발에 사용되는 고주파 유도 히터입니다. 두 소스 모두 0.1 ~ 1000 나노 미터 범위의 재료를 증발 할 수 있습니다. 이 장치 에는 "챔버 '의 압력 을 정밀 하게 조작 할 수 있는 정교 한 진공" 컨트롤 머신' 이 설치 된 가공실 이 장착 되어 있다. 그것 은 외부 진공 "펌프 '즉 회전" 베인' 이나 확산 "펌프 '에 연결 되어 있다. 온도와 압력 모니터가 내장되어 있어 작동 시 "챔버 '내부 조건을 열지 않고 조정할 수 있습니다. 고해상도 모션 컨트롤러는 X 및 Y 방향으로 0.003mm, Z 방향으로 0.01mm의 디지털 정확도를 달성하도록 설계되었습니다. 그것은 매우 정확하고 일관된 재료 강착을 가능하게합니다. "컨트롤러 '는 서로 다른 금속 과 합금 의 회전 속도 와 유기물 의 속도 를 조정 하도록" 프로그램' 될 수 있다. ULVAC EX-550은 정확성과 신뢰성이 높은 박막 예금을 만드는 완벽한 도구입니다. 재료 제형, 온도, 챔버 압력 및 모션에 대한 정확한 제어와 결합 된 자동 설계로 인해 소규모 연구 및 생산 시설을위한 이상적인 증발기 (evaporator) 가됩니다. 탁월한 성능을 자랑하는 EX-550 은 다양한 업종의 증발기 (go-to-evaporator) 입니다.