판매용 중고 ULVAC EX-200 #9078379

ULVAC EX-200 증발 장비는 다재다능하고 비용 효율적인 도구로서, 반도체 처리를 위한 박막, 기판 등 다양한 재료를 증발시키도록 설계되었습니다. 이 증발기 에는 "기화 '된 물질 의 가열 요구 조건 에 맞도록 조정 할 수 있는 가열 벽 을 공급 하는 공정" 챔버' 가 장착 되어 있다. 방은 또한 우수한 증발 성능과 최소 입자 오염을 보장하는 낮은 진공 환경 (low vacuum environment) 을 제공합니다. EX-200 시스템에는 최적의 온도를 효율적으로 유지하는 대용량 냉각수 흐름을 제공하기 위해 ACT (Automatic Coolant Transfer Unit) 가 장착되어 있습니다. 이 기계는 또한 조정 가능한 펌핑 속도를 제공하여 정확하고 안정적인 작동을 보장합니다. ULVAC EX-200에는 직접 또는 간접 증발을 모두 지원하는 통합 증발기가 포함되어 있습니다. 직접 증발에는 가열 기판에 적용되는 높은 등급의 열 방출 물질이 필요합니다. 한편, 간접 증발 (indirect evaporation) 은 기판에 간접적으로 도입 된 기화 된 물질을 사용하여보다 균일 한 증착을 위해 도입하는 것을 말한다. 응용 프로그램에 따라, 효과적인 결과에 직접 또는 간접 증발 방법을 모두 사용할 수 있습니다. EX-200 도구 (EX-200 tool) 는 정밀한 프로세스 제어를 위해 전원 설정을 조정할 수 있는 빠른 기화용으로 설계되었습니다. 이 자산 은 "마그네틱 '교반" 바' 를 사용 하는 것 을 지지 하는데, 이것 은 약실 의 뜨거운 벽 에 있는 물질 을 골고루 포화 시키는 데 도움 이 된다. 이 모델에는 챔버 내에서 진공 수준을 자동으로 제어하는 PVC (Programmable Vacuum Control) 도 있습니다. 또한 ALUS (Automated Loading/Unloading Station) 를 사용하면 증발기에서 쉽게 재료를 로드/언로드할 수 있습니다. ULVAC EX-200 증발 장비는 안정적이고 작동이 쉽습니다. 탁월한 성능으로 Deposition, Metalizing, Material Analysis, Substrate Sputter Coating, Tape Casting, Thick Film Deposition, Thin Film Deposition, Etching, Coating 등과 같은 다양한 응용 프로그램에서 사용할 수 있습니다. 첨단 기술과 신뢰할 수 있는 기능을 통해 업계에 이상적인 선택이 됩니다 (영문).