판매용 중고 ULVAC EGO-40M #9078387

ULVAC EGO-40M은 박막 증착에 사용되는 빠른 열 증발기입니다. 태양 광 세포, 생체 조합 연구 및 MEMS 장치와 같은 높은 증착 속도가 필요한 응용 분야를 위해 특별히 설계되었습니다. EGO-40M은 정확하고 재현 가능한 결과를 보장하기 위해 매우 정확한 온도 및 증기 압력 제어를 가지고 있습니다. ULVAC EGO-40M은 고성능 마그네트론을 사용하여 기존 증발기의 10 배 이상의 고속 증착률을 제공합니다. 6 포켓 (pocket) 멀티 타겟 홀더를 사용하여 한 번에 최대 6 개의 다른 대상을 수용하며, 대상을 빠르고 쉽게 변경하고 다중 계층 증착을 허용합니다. EGO-40M은 특허받은 제트 쿨링 (Jet-Cooling) 기술을 통해 목표의 과열을 방지하고 증착률을 높입니다. ULVAC EGO-40M에는 전원 공급 장치와 VLC 컨트롤러가 내장되어 있어 증발기가 매우 직관적이고 사용자 친화적입니다. 각 포켓 (pocket) 마다 독립적 인 온도 조절이 가능하여 증발 온도를 제어하고 정확한 온도 조절을 허용합니다. EGO-40M에는 자체 레시피를 만들고, 데이터를 수집하고, 다른 시스템과 데이터 통신을 제공할 수 있는 PC가 내장되어 있습니다. 또한, ULVAC EGO-40M에는 유출 감지 신호가있는 진공 모니터 (Vacuum Monitor) 가 있으며, 이는 운영 중 시스템이 진공을 잃거나 누출되는지 여부를 나타냅니다. 또한 온도가 세트 값을 초과하면 히터를 차단하는 과온 보호 (over-temperature protection) 와 작동 중 최적의 챔버 압력을 유지하는 데 도움이되는 폐쇄 루프 진공 펌핑 (closed-loop vacuum pumping) 이 있습니다. EGO-40M 은 설치 공간이 작으며 설치 및 유지 보수가 용이하도록 설계되었습니다. ULVAC EGO-40M은 유기, 금속, 유전체, III-V 화합물 및 합금을 포함한 다양한 재료를 증발시켜 박막 증착을위한 다용도 도구로 만들 수 있습니다. 고정밀 (high-precision) 안전 및 보호 기능을 갖추고 있으며 UL 및 CE 안전 표준을 완벽하게 준수합니다. 고정밀 온도 및 증기 압력 제어, 빠른 증착율, 다중 목표 증착 능력을 가진 EGO-40M은 박막 증착 응용 분야에 이상적인 증발기입니다.