판매용 중고 ULVAC EBX-16C #9111735

ULVAC EBX-16C는 박막 증착 및 반도체 제조를 위해 설계된 고정밀 증발 시스템입니다. 이 증발기는 증발 소스, 프로세스 제어 매개변수, 챔버 (chamber) 크기 측면에서 최대 유연성을 제공하여 다양한 증착 응용 프로그램의 다양한 요구를 충족시킵니다. 증발기의 난방 구역에는 16kW 고주파, 고속 에치 (Fast-Etch) ™ 호 총이 장착되어 난방 효율성 및 고도의 증착률이 향상되었습니다. EBX-16C (EBX-16C) 에는 얕은 원뿔 모양의 종 모양의 가열 구역이 있으며, 이는 막힘을 줄이고 필름의 균일 성을 보장하는 데 도움이됩니다. 얕은 종 모양 은 또한 열 의 손실 을 최소화 하고, 더욱 섬세 한 증착 중 에도 증발 하는 "온도 '를 유지 하는 데 도움 이 된다. 작은 기판에 증착 할 수있는 별도의 인젝터도 있습니다. ULVAC EBX-16C는 저열 방출, 다이오드 형 온도 컨트롤러를 통해 온도를 제어합니다. 이 컨트롤러는 정확하고, 조절 가능하며, 안정적인 온도 제어를 제공합니다. 이 시스템에는 안전성과 안정성을 더한 액티브 배출 제어 (Active Emission Control) 도 장착되어 있습니다. EBX-16C 는 높은 수준의 자동화를 통해, 쉽고 일관되게 사용할 수 있습니다. 직관적인 터치스크린 컨트롤 디스플레이를 통해 운영자가 모든 관련 프로세스 매개변수 (process parameter) 와 설정을 액세스하고 변경할 수 있습니다. ULVAC EBX-16C 는 또한 데이터 로깅 및 분석 및 포스트 프로세싱 기능을 지원하는 소프트웨어에서 지원됩니다. EBX-16C 는 박막 증착의 정밀성 (precision and repeatability) 에 대한 가장 까다로운 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 증발기의 신뢰할 수있는 성능, 우수한 온도 균일 성 (excellent temperity) 및 낮은 열 방출 (low thermal emission) 은 반 도체 산업에서 광범위한 응용 분야에 이상적인 선택입니다. 고급 프로세스 제어 기술 (예: 소프트웨어 프로그래밍) 을 사용하면 더욱 정확한 결과를 얻을 수 있는 기회를 얻을 수 있습니다.