판매용 중고 ULVAC EBX-10D #162906

제조사
ULVAC
모델
EBX-10D
ID: 162906
웨이퍼 크기: 4"
빈티지: 1981
Resistance evaporator, 4" 2 planetaries, one 4" and one 3" Electrodes are configured to handle up to 4 sources Have used this to evaporate gold, silver, palladium etc. Equipment is currently installed Diffusion pump included Spares are also included 1981 vintage.
ULVAC EBX-10D는 저진공 응용 프로그램을위한 증발기입니다. 증발 제어, 증발 속도, 입자 크기 및 증발 된 레이어의 기하학적 배열을위한 일체형 도구입니다. 이 증발기의 최대 증발 속도는 10g/min이며 작업 면적은 길이 80mm x 너비 90mm입니다. 전기 열 저항 히터, 가변 온도 컨트롤러, 증착 컨트롤러가 장착되어 있습니다. 입자 확대 및 균일 한 증발 속도 분포를 최소화하기 위해 특허를받은 유도 된 전기장 플라즈마 소스를 가지고 있습니다. 이 EBX-10D 는 증발 속도 조절 (특히, 광범위한 증발 속도가 필요한 경우) 에 이상적인 도구입니다. 유도 전계 플라즈마 소스에 의해 생성 된 전자 빔은 최대 80 x 90 mm의 스캐닝 범위와 0 ~ 5.5 kW 내의 신뢰할 수있는 AC 전원 공급 장치를 사용합니다. 또한 타이머 함수와 더 나은 증착 제어를 위해 가변 각도 기하학적 배열을 갖습니다. 또한 ULVAC EBX-10D (Advanced Control System) 는 프로세스가 시작하자마자 증발 속도와 입자 크기를 측정하는 고급 제어 시스템을 갖추고 있습니다. 이 기능은 정확한 증착 제어 (deposition control) 에 도움이되며 증착 과정에서 차가운 지점을 피하는 데 도움이됩니다. 또한 2 배의 가열 (pre-heating) 모드를 통해 전체 샘플에서 균일 한 온도 분포를 보장하고 증발 시간과 비용을 줄이는 데 도움이됩니다. 증발 속도 및 입자 크기 제어 외에도, 이 증발기는 빠른 autovalve 스위칭 기능을 갖는다. 이 기능은 오염을 줄이고 빠른 진공 주기를 가능하게합니다. 이것은 샘플의 표면에 존재하는 충전 입자를 무력화하는 데 도움이됩니다. EBX-10D 에는 진공 재생 필터 (vacuum regeneration filter) 가 있어 진공의 신속한 대피 및 안정화 및 더 얇은 필름 응용 프로그램의 더 나은 결과를 얻을 수 있습니다. 마지막으로, ULVAC EBX-10D 는 다운타임을 최소화하고, 무중단 운영을 보장하며, 에너지 소비를 줄이는 Smart Mode 작업을 제공합니다. 이 증발기 (evaporator) 의 사용자 친화적인 그래픽 인터페이스는 다양한 운영 세부 사항을 제어하기 위해 쉽게 이해할 수있는 인터페이스를 제공합니다. 이 장치는 또한 기판 홀더, 증발 소스 홀더, 가스 믹싱 시스템 등 다양한 유형의 액세서리와 호환됩니다. 따라서 사용자의 안전이 보장되고 작업 효율이 향상됩니다. 따라서 EBX-10D는 낮은 진공 응용을위한 안정적이고 효율적인 증발기입니다.
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