판매용 중고 ULVAC EBX-10C #293649865

제조사
ULVAC
모델
EBX-10C
ID: 293649865
빈티지: 1982
Vapor deposition system Chamber: 650×800 mm (3) Resistance heating (Front door type) Vacuum gauge Film thickness gauge with revolving jig Required cooling water: 2kg/cm²G (10ℓ/min) Required air pressure: 5kg/cm²G Substrate holder size: 430 mm Effective deposition range: 350 mm 1982 vintage.
ULVAC EBX-10C는 박막 증착 (Thin Film Deposition) 및 표면 처리 (Surface Treatment) 와 같은 응용 분야에 비용 효율적이고 효율적인 증발 프로세스를 제공하도록 설계된 고성능 증발기입니다. 증발기는 고급 연구, 개발 및 생산 프로세스에 적합합니다. 이 증발기는 ULVAC X 시리즈 플래티넘 도금 전극 및 특허를받은 EBX (EVAPoration Bias eXchange) 프로세스를 갖추고 있습니다. 이 특허를받은 기술을 통해 증발기는 최소 양의 입력 에너지 (input energy) 로 고속 증발을 수행하고 증착 된 필름에서 높은 균일성을 달성 할 수 있습니다. 증착율 (Deposition Rate) 의 균일성이 높을수록 더 높은 제품의 생산량, 더 빠른 프로세스 시간 및 높은 성능을 얻을 수 있습니다. EBX-10C는 진공 타이트한 스테인리스 스틸 본체와 신뢰할 수있는 견고한 진공 장비로 구성되어 있습니다. 진공 시스템에는 터보 분자 펌프, 진공 게이지, 진공 조절기 및 오일 미스트 필터가 있습니다. 이 장치 는 안정적 인 기화 과정 을 허용 하고, 오염 물질 의 축적 을 감소 시킨다. 증발기에는 고정밀 질량 흐름 컨트롤러 (high-precision mass-flow controller) 와 히터 (heater) 가 장착되어 필름 증착 과정에서 정확한 온도 조절이 가능합니다. 질량 흐름 컨트롤러는 열 입력 (heat input) 과 필름 두께를 정확하게 모니터링하여 제품의 일관성을 보장합니다. 증발기 는 또한 정밀 한 기질 온도 조절 을 유지 하기 위하여 증착 속도 를 감시 하는 열 "코우플 '" 피드백 머신' 을 갖추고 있다. ULVAC EBX-10C에는 증발기의 자동 제어가 가능한 자동 PLC (programmable logic controller) 도 장착되어 있습니다. PLC 도구를 사용하면 가열률, 진공 매개변수, 필름 두께를 정확하게 제어할 수 있습니다. 이 정확한 제어는 균일 한 증착을 제공하고 과잉 증착 또는 침착 (under-deposition) 을 피하여 성능 및 품질 제어를 높입니다. EBX-10C의 증발 자산은 접촉이 없으며, 증착 성능이 향상되고 안전성이 향상됩니다. 증발기 (Evaporator) 는 금속-금속 접점 (Metal-to-Metal Contact Point) 이 없으며 추가 청소가 필요 없으므로 유지 보수를 최소화하도록 설계되어 유지 보수가 쉽고 수명이 긴 성능을 제공합니다. 요약하자면, ULVAC EBX-10C는 효율적인 박막 증착 및 표면 처리를 위해 설계된 고급 고성능 증발기입니다. 증발기는 강력한 진공 모델, 고정밀 질량 흐름 컨트롤러, 동적 열전대 피드백 장비 (Dynamic Thermocouple feedback Equips) 를 갖추고 있어 정밀한 온도 조절 및 균일 한 증착이 가능합니다. PLC 시스템 덕분에, EBX-10C 는 자동화된 제어 기능을 제공하며, 뛰어난 반복 기능을 제공하여, 더 높은 제품 생산량과 더 나은 프로세스 제어를 지원합니다.
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