판매용 중고 ULVAC EBX-1000T #9279662
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ID: 9279662
빈티지: 2002
Evaporator
Front door & batch type
Vacuum pump: Turbo molecular pump + rotary pump
Chamber: 26" × H32" SUS body
Substrate holder: Flat plate revolution
Evaporation source: Resistance heating type (2) boats / (3) sets
Deposition material: Metal
Accessories: Mask holder
2002 vintage.
ULVAC EBX-1000T는 고정밀 박막 증착을 위해 설계된 강력한 증발기입니다. 이 증발기는 높은 정확도를 위해 고급 마이크로 프로세서 제어 필름 두께 모니터링 기능을 갖추고 있습니다. 사용자 코팅 사양에 최적으로 적합하도록 균일하고 정확한 코팅 환경을 생성합니다. EBX-1000T를 사용하면 리이온 배터리 (Li-ion battery), FED 디스플레이 (FED display) 및 기타 고급 산업 공정 (industrial process) 과 같은 광범위한 어플리케이션을 위해 얇은 필름과 초박형 필름을 모두 만들 수 있습니다. ULVAC EBX-1000T에는 다중 레이어 필름 두께 모니터링 장비가있는 통합 벨 항아리 덮개가 있습니다. 이 기능을 사용하면 각 코팅 사이클 동안 (또는 이후) 필름 증착 두께를 정확하고 빠르게 측정 할 수 있습니다. 증발기에는 빔 챔버의 효율적인 대피를위한 강력한 ULVAC 고 진공 펌프가 장착되어 있습니다. 수동 및 원격 가스 제어를 갖춘 가스 분사 시스템 (gas injection system) 은 필름 균일성을 향상시킵니다. 증발기에는 가스 누출 위험을 최소화하는 통합 안전 장치 (Integrated Safety Unit) 도 장착되어 있습니다. EBX-1000T는 알루미늄, 탄탈륨, 몰리브덴 등 다양한 금속과 합금을 증발 할 수 있습니다. 또한 폴리 카보네이트 및 PPMA와 같은 유기 물질의 고온 기화를 허용합니다. 가열된 노즐 버너는 최대 1000 ° C (주파수 최대 10MHz, 전압 최대 250V) 에 도달 할 수 있습니다. 또한 ULVAC EBX-1000T의 고온 실행 지원으로 -40 ° C ~ 1000 ° C의 온도를 조정할 수 있습니다. 또한 정확한 증착 제어를 위해 0.001 초의 일시적 반응 시간을 갖는 미세 그레인 온도 제어 머신 (fine-grain temperon control machine) 이 특징입니다. EBX-1000T 는 인체 공학적 설계 및 사용자 친화적 인터페이스로 인해 사용이 매우 쉽고 작동이 간편합니다. 직관적인 인체 공학 (ergonomics) 은 운영자의 요구에 맞춘 환경을 제공하며, 통신 툴은 원격 운영 및 모니터링을 지원합니다. ULVAC EBX-1000T 는 모든 유형의 가능한 구성과 호환되며, 기존의 모든 운영 툴에 통합될 수 있습니다. 박막 (Thin Film), 두꺼운 필름 (Thick Film) 및 초박막 (Ultra-Thin Film) 을 만드는 다양한 증기 증착 옵션뿐만 아니라 완벽한 작동 및 제어 유연성을 제공합니다. 고급 나노 기술 및 R&D 응용 프로그램에 이상적입니다. EBX-1000T 증발기는 모든 크기의 생산 라인에 적합하며, 박막 증착을 위한 효율적이고 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다.
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