판매용 중고 ULVAC EBX-1000 #9313807

ULVAC EBX-1000은 고정밀 박막 증착을 위해 설계된 고품질 증발기입니다. 증착의 균질성을 보장하기 위해 10-6 ~ 10-7의 압력을 고정시키는 터보 분자 펌프를 사용합니다. 물리적 증기 운송은 도가니 소스, 전자 빔 소스 (electron beam source) 또는 다중 소스 조합 (multi-source combination) 에 의해 실현됩니다. 전용 진공실은 전송 시스템과 호환되는 소형 통합 플랫폼 (compact integration platform) 으로 설계되었습니다. ULVAC EBX1000 증발기는 증발실, 터보 분자 펌프 및 증착 모니터링 장치로 구성됩니다. 증발 챔버 (Evaporation Chamber) 는 스테인리스 스틸 (Stainless Steel) 로 만들어졌으며 게이트웨이 플랜지를 장착하여 도가니, 전자 빔 소스 또는 멀티 소스에서 재료의 이동을 용이하게합니다. 챔버는 단단해지고 다른 수준의 미세 화학 보호를 특징으로합니다. 또한, EBX 1000의 터보 분자 펌프는 증발 중 압력의 높은 정밀 제어를 제공하기 위해 구성됩니다. 내장 트루 로터리 스로틀 밸브는 펌프 다운 시간을 정확하게 조정합니다. 또한, 저진공 부스터 펌프 및 기계식 펌프는 큰 부하 잔류 가스를 효율적으로 대피시키는 데 사용됩니다. 증착 모니터링 기기는 정확한 조건에서 증기 증착 속도를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 퇴적된 필름의 두께를 실시간으로 모니터링하는 데 사용할 수 있습니다. 모든 종류의 금속, 절연체 및 유기 화합물을 모니터링하도록 설계되었습니다. 이 기기는 또한 대상 두께, 증착 속도 및 증착 (over/under deposition) 을 제어하기위한 다양한 매개변수 세트를 특징으로합니다. 또한, 다른 열 매개 변수를 모니터링하여 재료 증착을 효율적이고 신속하게 전달할 수 있습니다. 결론적으로, EBX1000 증발기는 고정밀 박막 증착을 가능하게하도록 설계된 고정밀, 고품질 장치입니다. 소형 통합 플랫폼 (compact integration platform) 이 특징이며, 스테인리스 스틸 챔버 (stainless steal chamber) 로 강화되었으며, 효율적인 증기 증착을 위해 모든 종류의 재료를 모니터링하는 데 사용될 수 있습니다. 내장 된 진정한 로터리 스로틀 밸브, 저진공 부스터 펌프 및 증착 모니터링 기기로 ULVAC EBX 1000은 효율적이고 정확한 증기 증착을 제공합니다.