판매용 중고 ULVAC Custom #9076778
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ID: 9076778
웨이퍼 크기: 28
빈티지: 1996
Vacuum coating chamber
High vacuum chamber, 96"
28" diameter
Long throw height
Load Locks for Parts and Crystals
EGL-80M 4-Pocket (110cc EA) E-Beam Gun
Process chamber: CTI-400 Cryo pump
Loadlock chamber: CTI Cryotorr 8F Cryo pump
Camera adaptable view: Robotic hand-offs
Pallet is the substrate stage: Rotatable
Glancing angle deposition (GLAD): 0 to 89 degrees
Main frame: 67" to 72" depth.
ULVAC 커스텀 증발기 (Custom evaporator) 는 의료 생산에서 박막 증착 생산에 이르기까지 다양한 산업 및 연구 응용 분야에서 널리 사용됩니다. 시중에서 가장 정확하고, 효율적이며, 다용도 증발기 중 하나입니다. 맞춤형 증발기는 전자 빔 및 열 증발 기술을 사용하여 기판에 박막 및 코팅을 증착시킵니다. 증발기는 광범위한 어플리케이션을 위해 높은 수준의 성능과 안정성을 제공합니다. 이는 부식 내성 스테인리스 스틸 (본체), 증발기 냉각을위한 강제 환기, 조작과 제어가 용이한 완전 통합 터치 패널 (touch panel) 등 우수한 재료를 갖춘 세심한 설계 및 엔지니어링으로 달성됩니다. 증발기 (evaporator) 는 광범위한 응용 영역에 걸쳐 정확한 증기 증착 및 균일 한 코팅 두께를 제공 할 수 있습니다. 이것은 매우 정확한 질량 흐름 컨트롤러와 전용 SEC 처리 챔버 (SEC processing chamber) 옵션을 통해 수행됩니다. 사용이 간편한 자동 제어 (automated control) 기능을 통해 사용자는 원하는 증착률 (deposition rate) 과 온도 (temperature) 를 설정하고 증착 프로세스를 실시간으로 모니터링하고 제어할 수 있습니다. 증발기 의 고온 능력 은 금속, 산화물, 유기물, 기타 "필름 '재료 의 정확 한 증착 을 가능 케 한다. 증발기의 온도 조절은 빠른 응답 질량 흐름 컨트롤러 (fast-response mass flow controller) 와 정확하게 조절 가능한 난방 저항기 (heating resistor) 로 인해 우수합니다. 이 온도 조절을 통해 SiC (SiC) 또는 다이아몬드와 유사한 탄소 (diamond-like carbon) 와 같은 고급 증착 재료에 대해 광범위한 프로세스 매개 변수를 설정할 수 있습니다. 증발기에는 팬이있는 고효율 대류 챔버, 거칠고 미세한 배기 필터 시스템, 6 크리스탈 쿼츠 쇼어 헤드 (showerhead) 도 포함됩니다. 또한, 증발기 (Evaporator) 의 설계에는 고급 환기 기술 (Advanced Ventilation Technology) 과 광범위한 시청 창이 통합되어 전체 프로세스가 항상 제어되고 있습니다. 전반적으로 ULVAC 커스텀 증발기 (ULVAC Custom evaporator) 는 다양한 과학 및 산업 응용 분야에 이상적인 고급적이고 정확한 증발기 시스템입니다. 정교한 디자인, 뛰어난 소재, 종합적인 터치 패널 컨트롤을 통해 탁월한 성능과 안정성을 제공합니다 (영문). 고급 정밀도 및 사용하기 쉬운 기능을 통해 Custom 증발기는 박막 증착 및 코팅 응용 프로그램에 이상적인 선택이 됩니다.
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