판매용 중고 ULTECH EasyDEP-3 #293602284
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ID: 293602284
Thermal evaporator
Chamber size: 500π
Application: Metallization
Process: Au, Cr ,Ti
Sample size, 4"
Frame module:
Mild steel system frame
Control panel mountable, 19"
Movable casters and leveling tools
Gas delivery module:
Gas: N2
Flow control: Metering valve
Pneumatic diaphragm valve
316L Stainless steel tubing
Electro polished
Auto welded gas lines with VCR fitting
Vacuum module:
Vacuum cryo pump: 4000 L/sec
KODIVAC 1600K Rotary pump: 1000 L/min
Maximum pressure: 7.0 x 10^-7
High pressure vacuum gauge: Hot cathode ion gauge
Low pressure vacuum gauge: Convectron gauge
Main vacuum valve: Pneumatic gate valve
Fore line valve: Pneumatic angle valve
Roughing line valve: Pneumatic angle valve
Soft start pumping line, 1/2"
Auto vent line
Stainless steel hard line
Bellow line
Thickness monitor module:
Thickness monitor resolution: 0.123 A/sec
Crystal range: 6 MHz
Measurement frequency: 4 Hz
Operation temperature: 0 - 50°C
Oscillator package
Standard thickness sensor
Water feed through: 2.75°C
Flange
Thermal source module:
Maximum power: 1.5 kW
Output voltage: 0-5 V
Output current: 0-300 A
Current regulation: ±2% of full scale
(2) Tungsten thermal boat and spiral filament
High current isolation
Process chamber module:
Shutter view port
SUS304 Cleaning cover
Chamber purge and vent
Thermal shutter open / Close by air cylinder
Crystal sensor port
Sample susceptor, 4"
Sample stage rotation by AC motor
Substrate size, 4"
Manual and semi auto switch control.
ULTECH EasyDEP-3 증발기는 상업 및 산업 환경에서 사용되는 증기 압축 증발기입니다. 이것은 가스나 액체 장비로부터 물이나 수분을 제거하는 효율적이고, 비용 효율적인 방법입니다. 증발기 (evaporator) 는 신뢰할 수있는 고성능 증기 스트림을 생성하며, 그 후 응축기에서 응축되고 후기 단계에서 액체로 수집됩니다. 증발기는 고품질 부식 내성을 제공하는 스테인리스 스틸 쉘을 갖추고 있습니다. 이것 은 상업 환경 이나 산업 환경 에서 사용 되는 많은 액체 가 부식 성분 을 포함 하고 있으며, 그 에 따라 치료 를 받지 않으면, 증발기 에 손상 을 입힐 수 있는 중요 한 특징 이다. 그렇다. 또한, 셸은 빠르고 쉬운 유지 관리 및 청소가 가능하도록 설계되었습니다. 증발기에는 전력 효율적인 직접 장착 모터와 주요 작동 밸브가 있습니다. 이 모터는 에너지 사용량을 줄이기 위해 정밀 변조 (precision modulation) 를 허용하는 반면, 주 (main) 작동 밸브는 시스템의 물/액체 입력 및 출력을 안정적으로 제어합니다. 증발기는 또한 잔해와 원치 않는 불순물이 장치에 들어가는 것을 방지하기위한 안티 클로그 (anti-clog) 프리 필터를 특징으로합니다. EasyDEP-3 증발기는 최신 증기 압축 기술을 사용하며 에너지 효율적인 성능을 극대화하기 위해 멀티 스테이지 증발 냉장고로 설계되었습니다. 이 기술은 액체 또는 가스 스트림의 가스 증기를 압축함으로써 작동합니다. 그런 다음, 압축 된 증기 는 냉각 "콘덴서 '를 통과 하여 온도 를 낮추고 액체 로 응축 시킨다. 증발기 (evaporator) 는 또한 탈수 과정에서 사용되는 에너지를 줄이고 증발 온도 손실로 인한 효율성 손실을 방지하는 자가 드립 팬 머신 (self-drip pan machine) 을 통합합니다. 그것 은 "콘덴세이트 '를 수집 하여" 콘덴세이트' 를 재사용 할 수 있도록, 그것 을 잃는 어떤 배수 도구 에 빠지게 하는 것 이 아니라, 재사용 할 수 있게 하는 것 이다. ULTECH EasyDEP-3 증발기는 소형 설계를 가지고 있으며 설치와 작동이 쉽습니다. 증발기 에는 공정 을 감시 하고, 필요 하다면 효율성 을 향상 시키기 위한 조정 을 하는 데 도움 이 되는 압력 "게이지 '가 장착 되어 있다. 전반적으로 EasyDEP-3 증발기는 안정적이고, 효율적이며, 비용 효율적인 증발기로, 설치, 유지 관리, 운영이 용이하여 상용 및 산업용 어플리케이션에 이상적인 솔루션입니다.
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