판매용 중고 OERLIKON / LEYBOLD 450B #9254671

OERLIKON/LEYBOLD 450B는 반도체 및 광학 코팅과 같은 응용을위한 고온, 정밀 박막 생산에 사용되는 증발기입니다. 저압 증발 공정을 사용하여 단일 분자 (monomolecular) 에서 여러 미크론 (micron) 까지 두께로 유기, 무기 및 폴리머 박막을 증착 할 수 있습니다. 증발기의 히터 어셈블리는 개별적으로 조정 할 수있는 4 개의 난방 존 (heating zone) 을 사용하여 다양하고 정확한 온도 조절 및 점진적인 온도 변화를 허용합니다. 난방 구역에는 각각 고정밀, 고속 반응 세라믹 히터가 포함되어 있습니다. 전원 공급 장치 (Power Supply) 는 가열 주기와 냉각 주기 모두를 위해 정확하고 안정적인 전원을 제공하도록 설계되었습니다. 증발기는 수냉식 챔버를 사용하여 효율성을 높이고 프로세스 제어를 개선합니다. 시작 재료는 펠릿, 과립 또는 고체 소스의 형태 일 수 있습니다. 그런 다음 재료가 높은 진공 실에 로드됩니다. 수냉식 샘플 보트 (water-coolable sample boat) 는 기화점 아래의 온도에서 재료를 유지하는 데 도움이됩니다. 그런 다음 도가니 증발기 (crucible evaporator) 와 측면 배기 포트 (side exhaust port) 사이에 압력 차를 가하여 샘플 물질을 기화시킵니다. 그런 다음 재료는 전구체를 통해 공정 챔버 (process chamber) 로 들어가서 반응성 가스와 혼합됩니다. 그런 다음 재료가 기판에 침전되어 얇은 필름이 생성됩니다. LEYBOLD 450B 제어 시스템은 증착 과정을 쉽고 정확하게 제어하도록 설계되었습니다. 이 인터페이스는 증착 시간 (deposition time), 필름 두께 (film thickness), 공간 균일성 (spatial unifority), 총 압력 모니터링 (total pressure monitoring) 과 같은 운영 매개변수의 선택 및 모니터링을 위한 고급 기능을 갖춘 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스를 제공합니다. 또한, 나중에 실행할 수 있도록 저장 및 리콜 할 수있는 사용자 정의 자동 레시피가 있습니다. OERLIKON 450B 증발기는 프로세스 성능 향상, 프로세스 안정성 향상, 유연한 사용자 제어 기능을 갖춘 고품질 박막 (Thin Film) 제작에 이상적인 솔루션입니다. 그것 은 "박막 '의 증착 과 관련 된" 응용프로그램' 에 이상적 인 선택 이며, 광범위 한 재료 에 대한 우월 한 결과 를 낼 수 있다.