판매용 중고 NEWPORT E-Beam System #293824137
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NEWPORT E-Beam Equipment는 박막 코팅 및 재료 과학 분야의 정밀 증착 응용을 위해 설계된 최첨단 증발기입니다. 이 혁신적인 시스템은 전자 빔 (electron beam) 기술을 활용하여 박막 증착 공정에 대한 탁월한 제어 및 균일성을 제공하여 반도체 제조, 광학 코팅, 연구 실험실 등의 산업에 이상적인 솔루션입니다. E-빔 유닛 (E-Beam Unit) 의 핵심에는 전자 빔 소스 (electron beam source) 가 있으며, 고체 물질을 폭격하기 위해 정확하게 제어 될 수있는 고에너지 전자의 고도로 집중된 빔을 생성하여 기판에 증발시키고 증착시킨다. 전자 빔 증발 (electron beam evaporation) 으로 알려진이 과정은 더 높은 증착률, 더 나은 필름 품질, 향상된 필름 균일 성을 포함하여 저항 난방 또는 스퍼터링과 같은 전통적인 증발 기술에 비해 뛰어난 이점을 제공합니다. NEWPORT E-Beam Machine은 정교한 챔버 설계로 증발 과정을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이 챔버 (Chamber) 에는 여러 소스 재료를 공급하기위한 여러 포트와 박막 합금 또는 화합물 증착을위한 반응성 가스 (reactive gase) 를 도입 할 수있는 포트가 장착되어 있습니다. 또한, 챔버 (chamber) 는 증발 과정에 필요한 높은 진공 수준을 달성하고 유지하기 위해 고급 펌핑 시스템을 갖추고 있습니다. E-Beam Tool (E-Beam Tool) 의 주요 장점 중 하나는 매우 정밀하고 균일하게 광범위한 재료를 배치하는 기능입니다. 이 자산은 금속, 산화물, 질화물 및 기타 재료를 증착 할 수 있으며, 필름 두께, 구성 및 미세 구조를 고도로 제어 할 수 있습니다. 이로써 첨단 소재 및 장치 기술을 연구하는 연구자와 엔지니어에게는 없어서는 안될 도구입니다 (영문). 또한 NEWPORT E-Beam Model은 고급 제어 및 모니터링 기능을 제공하여 일관되고 재현 가능한 증착 결과를 보장합니다. 이 장비에는 조작 업체가 빔 에너지 (beam energy), 빔 전류 (beam current), 증착율 (deposition rate), 기판 온도 (substrate temperate) 와 같은 프로세스 매개변수를 설정하고 조정할 수 있도록 사용자 친화적 인 인터페이스가 장착되어 있습니다. 또한, 시스템에는 쿼츠 크리스탈 마이크로 밸런스 (quartz crystal microbalances) 및 광학 센서 (optical sensor) 와 같은 현장 모니터링 도구가 장착되어 증착 과정을 실시간으로 추적하고 필요에 따라 조정합니다. 성능 측면에서 E-Beam Unit은 업계 최고의 증착률과 영화 품질을 제공합니다. 고 에너지 전자 빔 (high-energy electron beam) 은 소스 재료의 빠른 증발을 가능하게하며, 높은 증착 속도와 처리 시간이 단축됩니다. 또한, 빔 파라미터 (beam parameter) 에 대한 정확한 제어는 큰 기판 영역에 균일 한 증착을 보장하며, 이 기계는 높은 처리량 생산과 연구 응용에 적합합니다. 전반적으로, NEWPORT E-Beam Tool은 최첨단 전자 빔 기술과 고급 제어 및 모니터링 기능을 결합한 다재다능하고 안정적인 증발기입니다. 연구 개발, 생산 규모 박막 코팅 (Thin-film Coating) 에 사용되든, 이 자산은 재료 과학, 전자 공학, 광학 등 다양한 분야에서 탁월한 정확도, 균일성, 성능을 제공합니다.
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