판매용 중고 LEYBOLD HERAEUS L 560 #9094443
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ID: 9094443
웨이퍼 크기: 4"-6"
E-Beam Evaporator, 4"-6"
Unit can deposit (8) each 4" substrates simultaneously
Or (5) each 6" substrates
Vacuum chamber nonmagnetic stainless steel
Inner diameter: ~ 550 mm
Chamber with frame: 1,810 x 830 x 1,200 mm
Control cabinet: 1,810 x 570 x 810 mm
High-vacuum pumping system
Turbo-molecular pump: TURBOVAC 1000
Pumping speed for N2: 1,000 liter/s
Rotary vane pump: TRIVAC D65B
Pumping speed: 65m³/h
LN2 cooling trap
Consumption: ~ 1 liter/h
Viewing baffle: Automatic pumping-system control
Vacuum gauges
Fore-vacuum meter: TM220S 10-³ to 10³ mbar
High-vacuum meter: IM 210 10-9 to 10-³ mbar
E-beam source:
E-beam gun: ESV 6-270, 4 kW
E-beam evaporation source with 4 pockets
Diameter of 1 pocket: ~ 20 mm
Glow Discharge Unit for pre-cleaning
(1) Holder for quartz microbalance crystal
Inficon deposition controller XTC/2 connected to crystal unit
(2) Thermal Evaporators with shutters
(3) Gas-flow meter with MKS MFCs
Chamber:
Carousel diameter: 450 mm
Chamber size: 560 W x550 D x 580 H mm
Vacuum Pumps:
TRIVAC D65, RUVAC WS251 and Leybold Turbopump Turbovac 1000 with 1000/1500 Turbotronic
Cooling system:
Water cooling of e-beam source
Cooling water lines placed around the chamber
Heating system:
No water heating of the chamber
Includes equipment for wafer and chamber heating
Substrate Holder:
Holder can be chosen to rotate during the whole process.
LEYBOLD HERAEUS L 560 증발기는 유기 물질 및 수성 용액의 열 증발을 위해 설계된 고효율, 자동 제어 증발기입니다. L 560은 증발 챔버 (evaporation chamber) 를 사용하여 휘발성 및 반결합 화합물의 미세하게 제어되고 효율적인 열 분해를 허용하는 독특한 증착 기술을 제공합니다. 증발기는 저비용, 고효율 증발기 설계를 갖추고 있어 제품 오염의 위험을 최소화합니다. LEYBOLD HERAEUS L 560 (LEYBOLD HERAEUS L 560) 은 단순하고 직관적인 작업과 결합된 자동 온도 및 압력 설정을 특징으로하며, 사용자는 각 실험에 대해 증발기를 빠르게 설정할 수 있습니다. 증발기 (evaporator) 는 특정 자료에 대해 미리 정의되어 있으므로, 사용자는 쉽게 증발 프로세스를 복제하고, 자신의 연구/애플리케이션 요구에 맞게 신속하게 설정할 수 있습니다. 간단하고 사용하기 쉬운 장비를 사용하면 기기의 디스플레이 (display) 에서 즉시 설정을 빠르게 조정할 수 있습니다. L 560에는 고정 유리 증발기 (Stationary Glass Evaporator Column) 와 난방 및 제품 처리량을 조절하는 조절 가능한 난방판이 있습니다. 증발기의 고출력, 저전압 가열판 (low-voltage heating plate) 은 전류 과부하로부터 시스템을 보호하면서 광범위한 재료의 증발을 보장합니다. 조정 가능한 난방 플레이트를 통해 사용자는 오븐 온도를 정확하게 조절하여 반복 가능한 증발 공정을 허용 할 수 있습니다. LEYBOLD HERAEUS L 560 (LEYBOLD HERAEUS L 560) 은 또한 인체 공학적이고 신뢰성이 높은 환기 장치를 제공하여 증발기 챔버에서 열과 연기를 추출하여 효율적으로 2 개의 쉽게 접근 할 수있는 덕트 중 하나로 옮길 수 있습니다. 조절 가능한 공기 흐름 조절기 (air flow regulator) 는 사용자에게 증발 속도에 대한 높은 수준의 제어를 제공하여 균일 한 건조 및 건조 온도를 보장합니다. 또한, 유연한 덕트의 유연한 기계는 증발기 내에서 조용한 작동 및 공기 순환을 보장합니다. L 560에는 고급 여과 도구 (Advanced Filtration Tool) 가 장착되어 있는데, 이 도구는 증발기 챔버에 도달하기 전에 먼지와 미립자를 수집하여 2 개의 스트레너를 통해 대기를 여과시킵니다. 이 고급 여과 자산은 가연성 물질의 안전을 보장하고, 안전한 작동을 보장합니다. LEYBOLD HERAEUS L 560 (샘플 홀더, 샘플 트레이, 증발기 플라스크 등) 에는 다양한 액세서리를 사용할 수 있으며, 사용자가 성공적이고 반복 가능한 증발 프로세스에 필요한 모든 것을 갖도록 보장합니다. 응용 프로그램에 관계없이, L 560은 유기 물질 및 수성 용액의 매우 신뢰할 수있는 열 증발을 제공합니다.
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