판매용 중고 KURT J. LESKER Sputtering E-Beam and thermal evaporation system #293817759
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ID: 293817759
Roughing pump
Turbo pump
2 VAT gate valves
Cryo pump
Mass Flow Controllers (MFCs)
Power supplies.
KURT J. LESKER Sputtering E-Beam 및 열 증발 장비는 연구 및 산업 응용 분야에서 박막 증착 공정을 위해 설계된 정교하고 다용도 증발기입니다. 이 시스템은 스퍼터링, 전자 빔 증발, 열 증발 기술의 조합을 사용하여 다양한 기판 재료에서 정확하고 균일 한 박막 코팅을 달성합니다. 장치 핵심에는 스퍼터링 모듈 (Sputtering Module) 이 있는데, 이 모듈은 고 에너지 플라즈마를 사용하여 표적 물질을 폭격하여 원자 또는 분자를 분출 한 후 기판 표면에 증착시킨다. 이러 한 과정 은 고도 로 조절 되어 있으며, 잘 부착 되고 "커버리지 '에 해당 하는 여러 가지 물질 을 증착 할 수 있게 해 준다. 스퍼터링 모듈에는 여러 대상 재료가 장착되어 있어 복잡한 다중 계층 구조 (multi-layer structure) 와 합금 구성 (alloy composition) 을 증착할 수 있습니다. 이 기계는 스퍼터링 외에도 전자빔 증발원 (electron beam evaporation source) 을 특징으로하며, 이는 고에너지 전자의 빔을 사용하여 목표 물질을 녹이고 기화시킵니다. 증발 된 물질은 기판에 응축되어 박막 코팅을 형성한다. 전자 빔 증발 (Electron beam evaporation) 은 높은 증착률과 균일성으로 유명하며, 정확한 두께 조절과 뛰어난 필름 품질을 가진 박막을 증착시키는 데 이상적입니다. 스퍼터링 (sputtering) 과 전자 빔 증발 (electron beam evaporation) 기술을 보완하는 것은 열 증발 모듈로, 높은 진공 환경에서 기화 온도에 도달 할 때까지 대상 물질을 저항적으로 가열하여 작동합니다. 그런 다음, 증발 된 물질 을 기판 으로 향하게 되는데, 그 기판 은 응축 하여 얇은 "필름 '층 을 형성 한다. 열 증발 (thermal evaporation) 은 금속, 산화물, 유기 화합물 등 다양한 물질을 증착시키는 데 적합하며, 특히 낮은 온도에서 박막 성장에 적합합니다. KURT J. LESKER 증발기 도구는 증착율, 두께 균일성 및 필름 구성의 실시간 모니터링과 같은 고급 증착 제어 기능을 제공합니다. 자산에는 종합적인 소프트웨어 인터페이스 (Software Interface) 가 장착되어 있어 사용자는 배치 레시피를 프로그래밍하고, 프로세스 매개변수를 조정하며, 배치 진행 상황을 실시간으로 모니터링할 수 있습니다. 이러한 제어 수준을 통해 특정 응용 프로그램 요구 사항에 맞게 필름 특성 (예: 두께, 컴포지션, 미세 구조) 을 정확하게 튜닝할 수 있습니다. 또한, 이 모델은 높은 수준의 자동화 및 사용자 친화적 운영 (user-friendly operation) 을 통해 설계되어 효율적이고 재현이 가능한 박막 증착 프로세스를 제공합니다. 이 장비에는 안전 인터 록 (Safety Interlock), 진공 모니터링 시스템 (Vacuum Monitoring System) 및 고급 증착 기술이 장착되어 있어 안정적이고 반복 가능한 결과를 보장합니다. 또한, 시스템은 기판 난방, 현장 모니터링 (in-situ monitoring), 멀티 타겟 (multi-target) 기능과 같은 추가 모듈과 통합되어 기능 및 다양성을 더욱 확장할 수 있습니다. 전반적으로 스퍼터링 E-빔 (Sputtering E-Beam) 과 열 증발 장치 (Thermal Evaporation Unit) 는 다양한 재료 및 응용 분야에 대한 종합적인 박막 증착 기술을 제공하는 최첨단 증발기입니다. 고급 제어 기능, 자동화 기능, 다용도 (versitility) 를 갖춘 이 기계는 맞춤형 속성을 갖춘 정확하고 안정적인 박막 코팅을 추구하는 연구원 및 제조업체에 이상적인 선택입니다.
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