판매용 중고 DENTON VACUUM Explorer 14 #293774927
URL이 복사되었습니다!
확대하려면 누르십시오
ID: 293774927
Sputtering system
Deposition chamber:
Chamber and control cabinet
304L Stainless steel chamber (14" wide x 18" tall)
Substrate size capability: 100 mm Ø
Magnetron capability: Up to 3" target diameter
Internal chamber deposition shield
Deposition chamber pumping:
Turbo pump and controller range: 620 l/s
EDWARDS XDS10 Dry scroll pump
High vacuum
3-Position gate valve
Vacuum gauging and process gas control:
Pirani/Bayard-Alpert gauge transmitter/Bayard-Alpert gauge transmitter
Ceramic capacitance manometer: 1 TORR FS
(2) Mass flow controller (Ar and N2)
MKS Controller
Sputter sources:
(3) 2.0" Diameter, internal "stalk-mounts"
(3) Flex type, planar magnetron sputter sources
Direct cooled for Ti
(3) Independent electro-pneumatic cathode shutters
Control and automation:
Color touch panel control and graphical status display
Multimode capabilities: Auto pump, auto vent, manual, automatic
Substrate stage: RF Bias
DVI RF Bias, 100 mm substrate stage assembly
RPM: 0-20
Sputter power supplies:
DC Power supply: 1 kW
RF Power supply: 300 Watt
DC Switch A/B select.
DENTON VACUUM Explorer 14는 일반적으로 증발기로 알려진 고급 박막 증착 장비입니다. 이 최첨단 기기는 높은 진공 환경에서 PVD (physical vapor deposition) 과정을 통해 다양한 재료의 박막을 만들도록 설계되었습니다. 익스플로러 14 (Explorer 14) 는 혁신적인 기술과 뛰어난 성능으로 유명한 박막 증착 장비의 주요 공급 업체 인 DENTON VACUUM에서 제조합니다. DENTON VACUUM Explorer 14는 마이크로 일렉트로닉스, 광학, 재료 과학 등의 분야의 연구 및 산업 응용 분야에 이상적인 다양한 기능과 기능을 갖추고 있습니다. 이 시스템은 박막 증착 (Thin film deposition) 의 정확한 제어 및 균일성을 위해 설계되었으며, 연구자와 엔지니어는 뛰어난 접착력과 균일 한 두께로 고품질의 영화를 달성 할 수 있습니다. Explorer 14의 주요 특징 중 하나는 다양한 증착 원이며, 여기에는 저항성 열 증발 원, 전자 빔 증발 원 및 스퍼터 소스가 포함됩니다. 이 소스를 통해 사용자는 금속, 산화물, 질화물 등 다양한 재료를 배치 할 수 있으며, 증착률 (deposition rate) 및 필름 특성 (film properties) 에 대한 뛰어난 제어를 제공합니다. 이 장치는 또한 여러 기판 크기와 모양과 호환되며, 다양한 샘플 유형 (sample type) 과 응용 프로그램에 적합합니다. DENTON VACUUM Explorer 14에는 고급 진공 펌핑 및 압력 제어 시스템이 장착되어 있어 박막 증착에 필요한 높은 진공 상태를 만들고 유지합니다. 이 기계에는 고속 터보 분자 펌프 (turbomolecular pump) 와 드라이 스크롤 펌프 (dry scroll pump) 가 포함되어 있어 초고진공 범위의 기본 압력을 달성하고 유지합니다. 정밀한 압력 조절은 정교한 가스 흐름 제어 도구 (gas flow control tool) 에 의해 촉진되며, 이를 통해 사용자는 증착 과정에서 가스 흐름 속도와 조성을 조정할 수 있습니다. 익스플로러 14 (Explorer 14) 는 사용자 친화적 인 인터페이스와 소프트웨어 제어 자산을 제공하여 배치 프로세스를 쉽게 작동하고 모니터링할 수 있습니다. 이 모델을 프로그래밍하여 복잡한 배치 시퀀스 (deposition sequence) 를 자동으로 실행할 수 있으며, 이를 통해 사용자는 특정 필름 구조 및 속성에 대해 사용자정의 증착 레시피를 생성할 수 있습니다. 증착율, 필름 두께, 기판 온도 등의 증착 매개변수에 대한 실시간 모니터링은 장비의 직관적인 소프트웨어 인터페이스를 통해 제공됩니다. 박막 증착을위한 고급 기능 외에도 DENTON VACUUM Explorer 14는 유지 보수 및 서비스 용이성을 위해 설계되었습니다. 이 시스템에는 인체 공학적 설계 기능 (예: 증착 소스, 진공 부품에 쉽게 액세스 할 수 있음) 과 부품 교체 및 업그레이드를 단순화하는 모듈식 구성 요소 (modular construction) 가 포함되어 있습니다. DENTON VACUUM 은 Explorer 14 의 성능 및 가동 시간을 극대화하는 포괄적인 기술 지원 및 교육을 제공합니다. 전반적으로 DENTON VACUUM Explorer 14는 광범위한 연구 및 산업 응용 프로그램에 탁월한 성능, 다용도 및 사용 편의성을 제공하는 최첨단 박막 증착 장치입니다. 익스플로러 14 (Explorer 14) 는 고급 기능과 기능으로, 정확한 제어와 재현성을 갖춘 고품질의 박막 (thin film) 을 만들려고하는 연구자와 엔지니어들에게 귀중한 도구입니다.
아직 리뷰가 없습니다