판매용 중고 CHA Mark 40C-RH #9390229
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ID: 9390229
E-Beam evaporator
Dual operation
Moving substrates
Exceptional Film Uniformity (EFU)
Sputter up
Process stations
Round cathodes, RF or DC (Up to 4-stations)
Co-deposit
Bias, RF or DC
Substrate heating, 400°C, multi-element
Substrate heating station
Electron beam
Thermal
Ion beam pre-clean / Etch
Plasma texturing/etch
Cryo coil: 1,000 L/Sec
Process chamber
Insitu spectrophotometer
Drop well source
Easy access to front and rear door
Variable source-to-substrate distance
Utilities
Water supply, 10 GPM
Air supply, 85-125 PSIG
Deposition fixturing adjustable angle planet
Vertical drum with pallets
Rotating disk
Rotating dome
Flat planetary
Shutter
Pumping stack
Dry or oil sealed roughing pump
Regeneration options
Famous right angle pumping/plumbing
Exceptional pumping performance
High vacuum valve, vertical seal, 16"
Foreline and roughing valves, vertical seal, 3"
Large refrigeration vapor pumping options
Mechanical pump, minimum CFM
Molecular sieve trap
Cold trap LN2, 25L pump trap, optional water pump
LN2 level control
Ionization gauge control
Gas controls
Pumping options:
Cryo
Turbo
Diffusion
Ultimate vacuum:
System: 10^-9 Torr
Chamber:10^-8 Torr
Power supply options:
Electron beam: 6-10-15 kW
Sputtering: 1-3-5-15-30 KW
Heater: 6-10-16 kW
Thermal deposition: 1-5-10 kW.
CHA Mark 40C-RH 증발기는 다양한 산업 냉각 및 건조 공정에 사용하도록 설계된 신뢰할 수있는 고성능 산업 증발기입니다. 이 장치는 손쉬운 액세스와 최소한의 유지 관리를 위해 클리어 쉘 (clear-shell) 구조의 단층 설계를 갖추고 있습니다. 증발기는 400 리터 용량, 전체 높이 1270mm 및 작동 온도 범위는 -20 ° C ~ + 65 ° C입니다. 증발기는 고급 축 팬 (axial fan) 을 사용하여 빠르고 효율적인 냉각 공정을 위해 고품질의 공기 이동을 생성합니다. 동축 설계는 증발기 (evaporator) 주택을 통해 공기를 공급하며, 별도의 팬이 수평 흐름을 발생시켜 공기를 높은 속도로 흐르게 합니다. 공기 의 유속 은 조절 이 가능 하며, 증발기 는 효율성 을 극대화 하기 위해 R22 와 R134a 냉장고 를 사용 한다. 증발기 (evaporator) 는 또한 공수가 되기 전에 증발기 내부에서 먼지와 다른 입자를 제거하는 독특한 자기 청소 시스템 (self-cleaning system) 을 갖추고 있습니다. CHA MARK 40C RH 증발기는 또한 조절 가능한 온도, 압력 안전 스위치, 비상 종료 및 경보 기능 등 다양한 안전 기능을 갖추고 있습니다. 증발기 는 설치 하기 쉽고, 소형 "디자인 '은 공간 을 최소화 해야 한다. 증발기는 효율적이고 안정적이며 유지 보수가 적도록 설계되었습니다. 전반적으로 Mark 40C-RH 증발기는 산업 냉각 및 건조 응용 분야에 이상적인 증발기로, 안정적인 성능과 효율적인 냉각 프로세스를 제공합니다.
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