판매용 중고 BALZERS / EVATEC BAK #293814134

BALZERS / EVATEC BAK
제조사
BALZERS / EVATEC
모델
BAK
ID: 293814134
웨이퍼 크기: 6"
Evaporator, 6".
BALZERS/EVATEC BAK은 EVATEC Optics에서 제조 한 종합 증발기 장비입니다. 이 시스템은 반도체 제조, 광전자 공학 및 연구 응용 분야의 정밀 박막 증착 프로세스를 위해 설계되었습니다. 첨단 기술과 기능을 통해 균일성, 순도, 재현성이 높은 다양한 박막 (thin film) 을 배치할 수 있습니다. EVATEC BAK 증발기는 높은 진공 성능으로 유명하며, 증착 과정을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 부하 잠금 장치 (Load Lock Unit) 를 장착하여 기판을 빠르고 효율적으로 로드하고 언로드할 수 있으며, 다운타임을 최소화하고 생산성을 높입니다. 이 기계는 또한 다양한 크기와 유형의 기판을 수용 할 수있는 다중 기판 홀더 (multi-substrate holder) 를 갖추고 있으며, 다양한 응용 프로그램에 유연성을 제공합니다. BALZERS BAK 증발기의 주요 특징 중 하나는 고급 난방 및 회전 기판 홀더 도구입니다. 이 자산은 기판 표면에서 균일 한 난방 및 증착을 보장하며, 접착력과 매끄러움이 뛰어난 고품질의 박막 (thin film) 을 생성합니다. 이 모델에는 저항원, 전자 빔 건 (electron beam gun), 스퍼터링 대상 (sputtering target) 을 포함한 여러 증발원이 장착되어 금속, 산화물, 질화물 등 광범위한 물질을 증착 할 수 있습니다. BAK 증발기는 증착률, 증착 두께, 온도 및 압력과 같은 주요 매개변수를 정확하게 제어합니다. 이러한 제어 수준은 원하는 필름 특성을 달성하고 특정 프로세스 요구사항을 충족하는 데 필수적입니다. 이 장비에는 실시간 모니터링 및 피드백 (feedback) 시스템도 장착되어 있어 정확하고 재현 가능한 증착 결과를 보장합니다. BALZERS/EVATEC BAK 증발기는 기술 기능 외에도 사용자 친화적 인 소프트웨어 인터페이스로 설계되어 운영 및 프로그래밍이 용이합니다. 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스를 통해 운영자는 배치 레시피 (deposition recipe) 를 설정하고, 프로세스 매개변수를 모니터링하며, 데이터를 실시간으로 분석할 수 있습니다. 이 시스템은 자동화 (automation) 및 레시피 관리 (recipe management) 를 지원하여 운영 라인에 원활하게 통합하고 인적 오류를 줄일 수 있습니다. EVATEC BAK 증발기 (EVATEC BAK Evaporator) 는 강력한 구성과 안정적인 구성 요소로 구축되어 장기적인 성능과 최소한의 유지 보수 요건을 충족합니다. 이 장치는 또한 운영 중 운영자와 장비를 보호하기 위해 안전 기능으로 설계되었습니다. 챔버 클리닝 (chamber cleaning) 및 소스 교체 (source replacement) 와 같은 유지 관리 작업은 간단하며 시스템 가동 시간을 최대화하기 위해 효율적으로 수행 할 수 있습니다. 전반적으로 BALZERS BAK 증발기는 최첨단 박막 증착 도구로, 광범위한 어플리케이션에 대해 높은 정확도, 유연성, 신뢰성을 제공합니다. 고급 기능과 사용자 친화적 인 디자인 (user-friendly design) 은 일관된 품질과 반복성을 갖춘 고성능 박막 (Thin Film) 을 구현하려는 연구자와 제조업체에 적합한 툴입니다.
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