판매용 중고 BALZERS BA 510 #9254181
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ID: 9254181
웨이퍼 크기: 4"
Vacuum coater, 4"
Equipped with ferrofluidic e-beam gun EV 4-5
With TELEMARK 376 indexer
SLOAN Control units
Includes:
LEYBOLD EV8.3 E-gun power supply (P/N 822430)
LES05 X-Y Sweep
Xtal monitor with (2) heads
MAXTEK MDC360C Rate controller
LN2 Piping
(8) Wafers (Calotte x (8) Wafers per run)
Diffusion pump included
No forepump.
BALZERS BA 510 증발기는 증기의 응축과 관련된 응용에서 효율적이고 신뢰할 수있는 작동을 위해 설계된 증발 응축제입니다. 이 증발기는 부식 내성 배수 트레이가있는 고급 부식 내성 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 구성됩니다. 원피스 용접 열 교환기 섹션으로 설계되었으며, 뛰어난 냉각 효율성을 위해 통합 된 스테인리스 스틸 팬 가드 (Stainless Steel Fan Guard) 가 포함되어 있으며 먼지 및 파편이 쌓이지 않도록 보호합니다. BA 510은 증기 응축 공정을 생성하는 다중 단계, 역류 증발기 구성으로 설계되었습니다. 이 증발기는 파울링을 줄이고 냉각 용량 또는 응축 효율을 높이기 위해 설계된 멀티 제트 (multi-jet) 배열을 특징으로합니다. 증발기는 증기를 효율적으로 만들고 뒤로 흐름을 방지하는 역류 (reverse-flow by-pass) 밸브로 추가로 설계되었습니다. BALZERS BA 510 증발기에는 충분한 증기 응축 성능을 보장하는 압력 스위치가 장착되어 있습니다. 이 증발기는 -10 ° C ~ 최대 + 50 ° C의 온도 범위에서 작동 할 수도 있습니다. 증발기 에는 전자 안전 온도 조절 장치 (electronic safety thermostat) 가 장착 되어 있어서, 안전 하지 않은 온도 가 등록 되면 전원 공급 장치 를 차단 한다. 이 증발기 (evaporator) 에는 작동 조건을 쉽게 모니터링하기 위해 온도가 통합되어 있습니다. BA 510 증발기는 220V-240V AC/50Hz에서 작동하는 단상 1 상 AC 전원 공급 장치로 구동되도록 설계되었습니다. 최대 1.0kW의 공칭 냉각 용량으로 설계되었으며 냉장 R-22 또는 R-407C와 작동 할 수 있습니다. 증발기 (Evaporator) 에는 압력과 온도 변화에 따라 팬 속도를 조정할 수있는 대형 산업용 모터 (heavy-duty industrial motor) 와 다이렉트 드라이브 팬 속도 컨트롤러 (direct drive fan speed controller) 가 장착되어 있습니다. 증발기 (Evaporator) 는 현장 교체 가능한 부품, 간편한 액세스 장착 지점, 부식 내성 외부 케이싱을 갖춘 간편한 설치 및 유지 관리를 위해 설계되었습니다. 이 증발기는 안전, 신뢰성 및 효율성에 대한 국제 표준에 대해 테스트 및 인증을 받았습니다. 이 제품은 거친 환경을 위해 설계되었으며, 컨덴서 코일 (condenser coil) 및 기타 액체 냉각 응용프로그램 냉각과 같은 산업 용도에 적합합니다.
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