판매용 중고 BALZERS BA 501 #293688210
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ID: 293688210
Rotary pump
Protection degree: IP55
Final pressure with gas ballast: 1 hPa, 0.75 Torr, 1 mbar
Final pressure: 5 x 10^-2 hPam, 3.75 x 10^-2 Tor, 5 x 10^-2 mbar
Connection flange (in): DN 100 ISO-F
Connection flange (out): DN 100 ISO-K
Input voltage(s): 460 V AC (±5 %), 60 Hz
Rated power 60 Hz: 18 kW
Motor type: 3-Phase motor
Motor protection: PTC
No mains cable
Cooling water pressure: 2,000-10,000 hPa, 1,500-7,500 Torr, 2,000-10,000 mbar
Cooling method: Water
Cooling water flow: 90 l/h
Ambient temperature: 12-40 °C, 53.6-104 °F, 285-313 K
Cooling water temperature: 10-30 °C, 50-86 °F, 283-303 K
Exhaust pressure:
Min: Atmospheric pressure
Max: 1,500 hPa, 1,125 Torr, 1,500 mbar
Nominal rotation speed at 60 Hz: 1,800 rpm, 1,800 min-1
Nominal rotation speed pump, 60 Hz: 345 min¹
Gas ballast
P3 Operating fluid: 45 L
Without safety valve HV
Power supply: 3-Phase motor, 460 V, 60 Hz.
BALZERS BA 501은 Oerlikon Group의 사업부 인 유명한 진공 기술 제조업체 BALZERS가 개발 한 고성능 증발기입니다. 이 증발기 (evaporator) 는 진공 환경에서 정밀한 박막 증착이 필요한 재료 과학, 연구, 산업 공정의 다양한 응용 분야를 위해 설계되었습니다. 바 501 (BA 501) 에는 박막 증착을 위한 다용도, 신뢰성 있는 도구인 고급 기능과 기능이 장착되어 있습니다. 증발기는 금속, 산화물, 질화물 등 다양한 물질을 높은 정밀도, 균일성을 가진 기질로 증착 할 수 있습니다. 이것은 반도체 장치, 광학 코팅 (optical coating) 및 필름 두께 (film thickness) 및 구성 (composition) 을 정확하게 제어해야 하는 기타 응용 프로그램을위한 박막 (thin film) 을 만드는 데 이상적인 솔루션입니다. BALZERS BA 501의 주요 기능 중 하나는 높은 진공 성능으로, 고품질 박막 증착을 달성하는 데 필수적입니다. 이 장비에는 대용량 펌핑 (pumping) 시스템이 장착되어 있어 증착 공정에 필요한 초고진공 (vacuum) 상태를 만들고 유지할 수 있습니다. 이것 은 퇴적 된 "필름 '이 오염 물질 과 결함 이 없도록 하며, 그 결과" 필름' 의 질 과 성능 이 뛰어나다. 증발기 는 또한 정교 한 가열 장치 를 갖추고 있어서, 증발 "가스 '의 온도 를 정밀 하게 제어 할 수 있다. 이를 통해 사용자는 최적의 온도로 재료를 배치하여 원하는 필름 특성 (예: 접착, 밀도, 결정성) 을 달성 할 수 있습니다. 기계는 또한 전체 기판 표면에서 균일 한 증착을 보장하는 회전 기판 홀더 (rotating substrate holder) 를 특징으로하며, 증착 된 필름의 품질과 일관성을 더욱 향상시킵니다. BA 501 은 고급 기능 외에도 사용자 친화적 (user-friendly) 기능으로 설계되어 운영 및 유지 보수가 용이합니다. 이 도구에는 배치 매개변수 설정 (setting deposition parameters), 프로세스 성능 모니터링 (monitoring process performance), 작업 중 발생할 수 있는 문제 해결 (troubleshooting any problemooting) 등 직관적으로 배치 프로세스를 제어할 수 있는 사용자에게 친숙한 인터페이스가 장착되어 있습니다. 이 자산은 또한 사용자 (user) 와 장비 (equipment) 를 잠재적인 위험으로부터 보호하기 위해 내장된 안전 메커니즘을 갖추고 있습니다. BALZERS BA 501 (BALZERS BA 501) 은 사용자 개입을 최소화하면서 복잡한 증착 프로세스를 수행하도록 프로그래밍 할 수있는 완전 자동화 모델입니다. 즉, 일관성 있고 안정적인 박막 증착이 필수적인 대용량 운영 환경을 위한 비용 효율적인 솔루션입니다. 또한, 이 장비는 모듈식으로 설계되었으며, 다양한 애플리케이션/업계의 구체적인 요구 사항을 충족할 수 있도록 손쉽게 맞춤 구성하고 확장할 수 있습니다. 전반적으로 BA 501 은 첨단 기술, 고성능 기능, 사용자 친화적 기능을 결합한 최첨단 증발기 (evaporator) 로, 박막 증착을 위한 다양하고 안정적인 솔루션을 제공합니다. 연구 실험실, 학술 기관 또는 산업 생산 시설에 사용되는지 여부 (BALZERS BA 501) 는 박막 증착 기술의 정밀도 및 품질 표준을 설정합니다.
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