판매용 중고 AST / ADVANCED SYSTEM TECHNOLOGY Peva-600I #9059482
URL이 복사되었습니다!
ID: 9059482
빈티지: 2012
ITO Evaporator
(1) Multi-Layers Lift-Off process requirements (Ti, Al, Ni, Au, Cr, AuGe, etc.)
(2) Run to Run film uniformity control under % to ensure overall product yield
(3) Optimum evaporator chamber and pumping system design, effectively reduce cycle time and increase material usage (> 20%)
(4) Special design fixture dedicated to thin slice (<100mm)
(5) Full automatic, intelligent PC control system
Specifications:
Wafer Numbers / Sizes: (108 -15) pcs / (2"- 6")for Planetary Domes
E-Beam Power: From 6 ~10 kW (Option)
Ultimate Pressure: < 1E-7 Torr
Based Pressure: 2E-6 Torr within 30 mins
Pumping System: Cryopump + Rotary Vane Pump or Dry pump (Option)
Automatic Control System: Industrial HMI with Graphic User Interface or Fully PC Interface Operation (Option)
Thickness/Rate and Process Control: RS-232 interfaced Real Time Controller including Sweeper, Indexer, Material, Tooling Factor, Soak, Ramp and Shutter
Substrate Temperature Control: RT ~ 350 ℃
Non-Uniformity: 5% for WIW, WTW and RTR
Power Requirement: AC220V, 3 phase, 60 Hz, 80A,
Dry N2 Requirement: 1.2 kgw/cm2
CDA Requirement: 5 kgw/cm2
Water Requirement: 1.5 kgw/cm2, 20 ℃, 30 l/min
2012 vintage.
AST/ADVANCED Equipment TECHNOLOGY Peva-600I Evaporator는 효율적인 에어컨 및 냉장 시스템을 위해 설계된 AST입니다. 공기를 식히기 위해 소형 ampac (암모니아 증기 압축기) 을 사용하는 자체 함유 공기 냉각 장치이며, 공간의 대기 습도를 줄입니다. 이 장치는 최적의 에너지 출력으로 효율적인 냉각을 제공합니다. 이 증발기는 섭씨 -20 ~ 35 도의 온도를 가진 산업 응용 분야에 적합합니다. AST 페바 -600I 증발 장치 (AST Peva-600I Evaporator) 는 신뢰할 수 있고 지능적인 기술로, 강력한 기술 폴리머 벽과 견고한 프레임으로 구성되어 어려운 환경에서 작동 할 수 있습니다. 공기로부터 열을 효율적으로 전달하여 효율적이고 효율적인 냉각 용량 (cooling capacity) 이 가능하도록 설계되었습니다. 이 장치는 통합 콘덴세이트 팬 시스템 (condensate pan system) 을 사용하여 미생물 및 부식 손상을 방지하면서 과도한 콘덴세이트 빌드 업을 캡처하고 제거합니다. "팬 '속도 를 조정 하여 편안 하고, 일관성 있는 기온 을 유지 하고, 높은 유속 을 달성 할 수 있다. ADVANCED UNIT PEVA 600I Evaporator는 내장형 LED 디스플레이와 함께 제공되므로 쉽고 정밀한 진단 및 온도 조절이 가능합니다. 사용자는 원하는 냉각 효과에 맞게 온도 설정을 쉽게 조정할 수 있으며, 진단 코드 (diagnostic code) 를 선택하면 간단하고 편리한 트러블슈팅을 수행할 수 있습니다. 디스트로 블록 (distro block) 기능을 사용하면 흐름 속도가 향상되고 하나의 머신에서 독립적으로 작동하는 여러 증발기를 사용할 수 있습니다. 이 기능은 다양한 증발기를 연쇄적으로 쌓아 냉각 용량 (cooling capacity) 을 증가시켜 사용 가능한 서지 볼륨을 증가시킵니다. AST PEVA 600I Evaporator는 안전을 염두에두고 설계되었습니다. 센서를 사용하여 공구 고장을 감지하고 잠재적인 문제 (예: 고압 또는 저압, 공기 흐름 감소, 온도 불균형) 를 사용자에게 알립니다. 또한 자가 진단 (self-diagnostics) 및 경고 (alarm) 기능이 통합되어 있어 운영 불규칙성을 감지하고 사용자에게 오작동을 경고할 수 있습니다. ADVANCED Asset TECHNOLOGY Peva-600I Evaporator는 안정적이고 효율적이며 강력한 에어컨 및 냉장 모델입니다. 최소한의 전력 소비로 작동하는 안전하고, 견고하며, 신뢰할 수 있는 공랭식 (air-cooling) 장비가 필요한 산업용 어플리케이션에 이상적인 솔루션입니다. 이 장치는 높은 효율성, 내구성, 안전성, 간편한 설치/유지 관리 기능을 제공합니다.
아직 리뷰가 없습니다