판매용 중고 AST / ADVANCED SYSTEM TECHNOLOGY Peva-600EI #9238802
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판매
ID: 9238802
웨이퍼 크기: 4"-8"
빈티지: 2004
E-Beam evaporator, 4"-8"
Deposition materials: Al, Au, Ni, Ti, Pt, Ge, ITO, Cr and Ag
Deposition controller: MAXTEK MDC-360C
Thickness accuracy: 0.5% + 1 Count
E-Gun: Diameter 600 mm x height 800 mm
TELEMARK TT-6 Control power supply
System frame with clad panels
Mounting frames with height adjustable transport rollers
Rack cabinet, 19"
Cooling water distributor with valves
Deposition chamber:
Single walled made of 304 L stainless steel electro-polished
Welded on semi rectangular pipes for cooling and heating
Front opening / Closing door with automatic electromagnetic lock / unlock
Deposition chamber pumping system and vacuum measurement:
CTI-CRYOGENICS Torr-10 Pump (9,000 L/sec for H2O)
CTI-CRYOGENICS 9600 Liquid helium water cooled compressor
Auto regeneration function for cryo pump
(2) Stages rotary vane pump with KF 40 inlet flange
Compressed air distribution
GP 307 Vacuum gauge controller
GP 274 Ion gauge head
(2) GP 275 Pirani heads with tungsten filament
Process controller / Layer thickness measurement:
Process control with RS-232 interface
QUARTZ Sensor with 6 MHz oscillator
With cooling water lines and signal cables
E-Beam evaporator, 6 kW type 265
With wafer substrate holder, 4" x 4", 6" x 2", 8" x 2"
(4) Pockets of 25 cc
MDC-360C Power supply
TT6
Power supply: AC 220 V, 60 Hz, 70 A, 3 Phase, 4 Watts
2004 vintage.
AST/ADVANCED Equipment TECHNOLOGY Peva-600EI Evaporator는 식품 가공 및 기타 산업 응용 분야의 물질에서 물을 제거하도록 설계된 산업 등급 증발기입니다. 증발기는 고급 기술을 사용하여 효율적이고 안정적인 성능을 보장합니다. 증발기 (evaporator) 는 증발기 본체와 분리 된 콘덴서가있는 혁신적인 디자인을 특징으로합니다. 이것 은 "냉장고 '가 물질 을 식히는 데 사용 되는" 냉장고' 가 "증발기 '의 감수성 물질 과 새거나 접촉 하지 못하게 한다. 증발기는 또한 첨단 소재 (high-tech materials) 를 사용하여 운영 중 교환기 내부의 압력을 견뎌냅니다. AST Peva-600EI는 고급 기술을 활용하여 효율성을 극대화하고 에너지 소비를 최소화합니다. 증발기는 증발기가 대기 모드에있을 때 전력 소비를 줄이는 절전 (power-saving) 기능을 갖추고 있습니다. 증발기는 또한 정교한 온도 및 압력 센서 (pressure sensor) 를 특징으로하며, 증발기 내의 온도와 압력을 지속적으로 측정하고 응축률을 적절하게 조정합니다. 고급 시스템 기술 (ADVANCED SYSTEM TECHNOLOGY) Peva-600EI는 또한 최대 80kg/hour의 기화 용량을 특징으로하며, 증발기에서 처리되는 물질에서 상당수의 물 분자를 빠르고 효과적으로 제거 할 수 있습니다. 이 증발기는 또한 이동식 증발기 (removable evaporator housing) 를 갖추고 있어 필요에 따라 증발기를 쉽게 서비스하거나 수리 할 수 있습니다. Peva-600EI Evaporator는 수년 동안 신뢰할 수있는 작동을 보장하기 위해 내구성이 뛰어난 재료로 제작되었습니다. 증발기는 또한 가청 (audible) 및 시각 경보를 갖춘 안전 장치 (Safety Unit) 를 내장하여 운영자에게 잠재적 인 문제를 경고합니다. 이 증발기는 또한 증발기 본체에 대한 2 년 보증 및 액세서리에 대한 1 년 보증으로 제한됩니다. AST/ADVANCED Machine TECHNOLOGY Peva-600EI Evaporator는 식품 가공 및 기타 산업 응용을위한 안정적이고 에너지 효율적인 증발기를 찾을 때 이상적인 선택입니다. 고급 기능, 사용이 간편한 제어 기능, 고객 서비스 지원 등을 통해 이 증발기 (evaporator) 는 다양한 어플리케이션을 처리할 수 있는 안정적이고 효율적인 증발기가 필요한 고객에게 탁월한 선택입니다.
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