판매용 중고 AST / ADVANCED SYSTEM TECHNOLOGY Peva-600E #9059480

AST / ADVANCED SYSTEM TECHNOLOGY Peva-600E
ID: 9059480
웨이퍼 크기: 2 to 6
빈티지: 2011
Metal evaporator, 2"-6" Includes: (1) Multi-Layers Lift-Off process requirements (Ti, Al, Ni, Au, Cr, AuGe, etc.) (2) Run to Run film uniformity control under % to ensure overall product yield (3) Optimum evaporator chamber and pumping system design, effectively reduce cycle time and increase material usage (> 20%) (4) Special design fixture dedicated to thin slice (<100mm) manufacturing process with optimum reliability (5) Full automatic, intelligent PC control system Specifications: Wafer Numbers / Sizes: (108 -15) pcs E-Beam Power: From 6 ~10 kW (Option) Ultimate Pressure: < 1E-7 Torr Based Pressure: 2E-6 Torr within 30 mins Pumping System: Cryopump + Rotary Vane Pump or Dry pump (Option) Automatic Control System: Industrial HMI with Graphic User Interface or Fully PC Interface Operation (Option) Thickness/Rate and Process Control: RS-232 interfaced Real Time Controller including Sweeper, Indexer, Material, Tooling Factor, Soak, Ramp and Shutter Substrate Temperature Control: RT ~ 350 ℃ Non-Uniformity: 5% for WIW, WTW and RTR Power Requirement: AC220V, 3 phase, 60 Hz, 80A, Dry N2 Requirement: 1.2 kgw/cm2 CDA Requirement: 5 kgw/cm2 Water Requirement: 1.5 kgw/cm2, 20℃, 30 l/min 2011 vintage.
AST/ADVANCED Equipment TECHNOLOGY Peva-600E 증발기는 다양한 상업 및 산업 분야에서 탁월한 열 성능을 제공하도록 설계된 매우 효과적이고 안정적인 증발기입니다. 이 증발기는 최고의 안전, 내구성, 효율성 표준을 충족하도록 설계 및 제조되었습니다. AST Peva-600E 증발기 (Evaporator) 에는 수분 순환을 가능하게하지 않은 암수 밀봉, 폐쇄 루프 시스템이 장착되어 있습니다. 증발기는 고급 MC-C (MicroComputer-Controlled) 기술을 사용하여 증발기의 작동 및 온도를 모니터링하고 조절합니다. 이를 통해 장치의 성능이 향상되고 안전하고 안정성을 보장할 수 있습니다 (영문). 또한, 이 장치는 자동 물 보충기로 설계되어 증발기에 불필요한 과잉 용량 (over-capacity) 을 방지합니다. ADVANCED TOOL TECHNOLOGY Peva-600E 증발기는 가스, 전기, 증기를 포함한 다양한 에너지원에서 작동 할 수 있습니다. 이를 통해 사용자는 증발기 (evaporator) 작동을 위한 가장 비용 효율적이고 효율적인 방법을 선택할 수 있습니다. 에너지 효율과 관련하여 Peva-600E 증발기는 에너지 효율 비율 (EER) 이 14.3입니다. 따라서 중간 정도의 과중한 요구 사항을 충족하는 애플리케이션에 적합하며, 에너지 절감 효과를 극대화할 수 있습니다. 증발기 의 열전달 속도 가 향상 되면, 그 와 비슷 한 용량 의 다른 증발기 에 비하면, 매우 효율적 이 된다. 또한, 저압 하락, 정확한 온도 조절 및 더 나은 냉각 효과를 생성 할 수 있습니다. AST/ADVANCED Asset TECHNOLOGY Peva-600E 증발기는 내구성과 수명을 보장하는 고급 열역학적 알루미늄 기반 주택으로 설계되었습니다. 이를 통해 견고한 운영 환경을 구축할 수 있으며, 장치 안전 (Safety of the Unit) 을 보장할 수 있습니다. 또한, 이 부식 내성 주택은 안정적인 성능을 제공하고, 연장 기간 동안 최적의 온도 수준을 유지할 수 있습니다. 또한 AST Peva-600E 증발기 (Evaporator) 는 성능을 모니터링하고 증발기의 가능한 문제를 감지하는 데 도움이 되는 내장 자체 진단 모델로 설계되었습니다. 이 장비는 자동으로 사용자에게 증발기 (Evaporator) 의 고장 또는 기타 문제를 경고하고, 사용자가 수정 조치를 취하고, 시스템이 원활하게 실행되도록 합니다. 또한, 이 장치에는 필요한 경우 활성화되는 긴급 종료 시스템 (Emergency Shutdown Machine) 도 장착되어 있습니다. 전반적으로 ADVANCED TOOL TECHNOLOGY Peva-600E Evaporator는 효과적이고 효율적인 증발기를 찾는 상업용 또는 산업 환경에 이상적인 선택입니다. 첨단 기술, 효율적인 운영, 내장형 안전 기능을 통해 신뢰할 수 있고 안정적인 선택이 가능합니다. 또한, 소형 디자인과 부식에 강한 주택은 공간이 제한 될 수있는 모든 환경에 적합합니다.
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