판매용 중고 AIRCO TEMESCAL / TES FC-1800 #293811779
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AIRCO TEMESCAL/TES FC-1800은 반도체, 광학 및 기타 산업의 박막 증착 공정을 위해 설계된 다용도 및 고성능 증발기 장비입니다. 이 증발기 (Evaporator) 는 고급 기능과 기능을 통해 박막 두께와 컴포지션을 정확하게 제어할 수 있으며, 광범위한 어플리케이션에 적합합니다. TES FC-1800 증발기는 이중 챔버 설계를 갖추고 있으며, 교차 오염없이 여러 재료를 동시에 증착 할 수 있습니다. 이 기능은 반사 방지 코팅 (anti-reflective coating), 광학 필터 (optical filter), 반도체 장치 (semiconductor device) 와 같은 성질이 다른 다중 계층 구조를 생성하는 데 중요합니다. 이 시스템의 챔버에는 고온 가열 원 (일반적으로 저항성 또는 전자 빔 증발) 이 장착되어 있으며, 이는 최대 1000 ° C의 증착 온도를 달성 할 수 있습니다. AIRCO TEMESCAL FC-1800 증발기의 주요 강점 중 하나는 뛰어난 균일성과 두께 제어로 박막을 입금하는 능력입니다. 이는 정교한 필름 두께 모니터와 정확한 셔터 제어 (shutter control) 메커니즘을 사용하여 실시간으로 모니터링하고 증착률을 조정할 수 있습니다. 이 장치는 수 나노 미터 (nanometer) 에서 수 미크론 (micron) 에 이르는 두께를 가진 필름을 아나 노미터 정밀도로 배치 할 수 있습니다. FC-1800 증발기 (evaporator) 는 탁월한 증착 기능 외에도 높은 수준의 프로세스 유연성과 자동화를 제공합니다. 이 기계에는 램핑 (ramping), 펄스 (pulsing), 다단계 프로세스 등 복잡한 증착 시퀀스를 프로그래밍할 수 있는 고급 제어 소프트웨어가 장착되어 있습니다. 또한 원격 모니터링/제어 기능을 통해 운영 및 유지 보수 작업을 효율적으로 수행할 수 있습니다. AIRCO TEMESCAL/TES FC-1800 증발기는 사용자 정의가 용이하며, 특정 어플리케이션 요구 사항을 충족하는 다양한 옵션 기능과 액세서리가 제공됩니다. 여기에는 여러 재료 소스, 기판 가열 및 회전, 현장 모니터링 기술, 고급 진공 및 가스 처리 시스템이 포함됩니다. 자산은 사용자의 요구에 따라 기존 운영 라인에 통합되거나 독립형 (Standalone) 툴로 운영될 수 있습니다. 강력한 디자인과 안정적인 성능을 갖춘 TES FC-1800 증발기는 연구 환경과 생산 환경 모두에 적합합니다. 이 모델은 금속, 산화물, 질화물, 유기물 등 다양한 재료를 증착 할 수 있으므로 다양한 박막 응용에 적합합니다. 높은 처리량 및 낮은 유지 관리 요구 사항으로 인해 씬 필름 (Thin Film) 디바이스의 볼륨 생산에 비용 효율적인 솔루션이 됩니다. 전반적으로 AIRCO TEMESCAL FC-1800 증발기는 고급 기술과 사용자 친화적 인 운영을 결합한 최첨단 박막 증착 장비입니다. 즉, 정확한 제어 기능, 프로세스 유연성, 사용자 정의 옵션을 통해 반도체, 광학, 관련 업계의 다양한 애플리케이션을 위한 다양한 툴이 될 수 있습니다. 연구원, 엔지니어, 제조업체이든, FC-1800 증발기는 박막 증착 프로세스에 탁월한 성능과 신뢰성을 제공합니다.
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