판매용 중고 AIRCO TEMESCAL FC 3200 #9195626
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ID: 9195626
E-Beam evaporator
GE FANUC PLC Control system
Integrated cryo pump regeneration
Process recipe control
Data logging
On board flat screen integrated Windows PC
32” x 32” S/S Process chamber (Water cooled)
10.6" High speed flat planetary
Operator / Engineer computer interface includes:
Data logging of: Ion & convectron, valves & chamber heat
User level system control
Integrated cryo pump regeneration control
Process recipe editing
TELEMARK TT-6
Digital display
Programmable sweep control
6-Pocket electron beam gun
5kVA SCR Controlled transformer
Fixture to accept customer specified thermal evaporation boats
Feedthroughs for one restive thermal source
(2) Separate source shutters
(2) 2kW Heater assemblies with feed throughs
4kW Temperature control
(2) Ion / (4) Convectron gauges
VV-400 View port with shutter
PLC Closed loop pressure control through: 02 MFC / GRANVILLE PHILLIPS 354
CTI 400 Cryo pump with CTI 1020R compressor
PLC Controlled automatic regeneration
N2 Purge gas heater
Deposition rate monitor: MAXTEK 6 MHz quartz crystal sensor
Programmable:
For material density
Acoustic impedance
Tooling factor
(3) Planets:
(4) 4” Variable speed single plane planetary systems
(12) Wafers per run
LEYBOLD D-30, 2-stage direct drive 26cfm mechanical pump
Pump base pressure: 12 Micron or better
Includes:
Manuals
Schematics binder
Options:
Multi pocket E-beam source
(2) Large volume single pocket guns.
AIRCO TEMESCAL FC 3200 증발기는 상업용 냉장 시스템을 위해 설계된 증발기입니다. 그것은 무거운 스테인레스 스틸 구조로 만들어졌으며, 부식에 강한 마무리로 코팅됩니다. 증발기는 쉽게 접근 및 서비스를 위해 탈착식 후드 디자인을 갖추고 있습니다. 장비 효율성 및 신뢰성 향상을 위해 에르메틱 밀봉 압축기가 장착되어 있습니다. 증발기는 냉장 회로 교환 기술을 갖춘 증발기와 함께 올 알루미늄 핀 튜브 콘덴서 (all-aluminum fin-tube condenser) 를 사용하며 기계적 팽창과 자연 팽창을 결합하여 냉장고의 열 특성을 개선합니다. 또한 FC 3200 에는 가변 속도 모터 (Variable Speed Motor) 와 ASC (Automatic System Controller) 가 장착되어 있어 보다 뛰어난 정확성과 효율성을 위해 장치를 모니터링하고 제어합니다. 또한 내부 필터 카트리지 (Interior filter cartridge) 가 포함되어 있어 냉장기에서 수분 및 미립자 물질을 분리합니다. 증발기는 4 ~ 36 톤의 다양한 용량을 가지고 있으며, 저온 응용에 적합합니다. 증발기는 UL 인정이며 안전 및 품질 보증을 위해 CUL에 등재되었습니다. 공구 구성 요소 측면에서 AIRCO TEMESCAL FC 3200은 에르메틱 밀봉 압축기, 올 알루미늄 핀 튜브 콘덴서, 냉장 회로 교환 기술이있는 증발기, 가변 속도 모터 및 자동 자산 컨트롤러 (ASC) 를 사용하여 모델을 모니터링하고 제어합니다. 건축 측면에서 볼 때, 그것은 무거운 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 만들어졌으며, 부식 내성 마무리로 코팅되었으며, 쉽게 접근 및 서비스 할 수있는 탈착식 후드 디자인을 갖추고 있습니다. 또한 UL 인정 및 CUL로 안전 및 품질 보증을 위해 등재되었습니다. 마지막으로 FC 3200 은 저온 응용프로그램을 위한 상업용 냉장 시스템을 위해 설계되었습니다. 4 ~ 36 톤에 이르는 다양한 용량을 보유하고 있으며 뛰어난 열 특성, 정확성, 효율성을 제공합니다. 에르코 템스 칼 FC 3200 (AIRCO TEMESCAL FC 3200) 은 에르메틱 밀봉 압축기와 가변 속도 모터로 안정적이고 안정적인 성능을 제공합니다.
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